中古 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9262468 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS xR80イオンインプランター&モニターは、イオン注入プロセスの生産性と精度を向上させるために設計された最先端のインプランター技術です。AMAT xR80は高性能で高精度なインプラントで、プロセスの再現性を高め、様々な材料のインプラントを改善します。イオン注入では、加速されたイオンビームがビームから基板に原子を移すことによって基板材料の特性を変更するために使用されます。応用材料XR 80はイオンビームを加速するために静電気の方法を使用します。高度なビーム電流モニターを搭載しており、電流を制御して正確な精度と再現性を確保します。この精度は、インプランターの高精度、真空絶縁イオン源、イオンフィルター、マルチビームライン設計により実現されます。アプライドマテリアルズのxR80には、さまざまなプロセス監視および制御機能も含まれています。エンドオブランセンサー、フィードフォワードスキャン補正、24時間プロセス監視システムなど、さまざまな品質管理機能を備えています。これらの機能はすべて、プロセス制御と再現性の向上、および同じ基板上の複数のインプラント間の再現性の向上を可能にします。AMAT XR 80はまた、効率的なビーム制御のために独自の高速デジタル通信インタフェースを利用しています。この高速デジタル通信インターフェースにより、オンザフライのビーム制御と最適化が可能になり、インプラント工程の生産性と効率が向上します。XR80はまた、埋め込まれた材料の高い収率と均一性を提供する業界をリードする真空絶縁イオン源を誇っています。この高度なイオン源により、ビームの安定性と位置精度が向上し、接合部の深さがより均一になります。XR 80は、0-80 keVの拡張電圧範囲も可能で、さまざまな高エネルギーインプラントを可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS XR 80は、インプラントのエネルギーの広い範囲に加えて、比類のない位置精度と再現性を提供し、高アスペクト比マスクの正確なインプラントを可能にします。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS xR80は、優れたイオン注入プロセスを提供するトップオブラインのイオン注入器&モニターです。高度なビーム制御システムと高精度コンポーネントにより、製品の歩留まりとプロセスの均一性が向上し、精密インプラント工程に最適です。