中古 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #9032623 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS xR200はイオン注入器およびモニター装置です。半導体およびマイクロエレクトロニクス業界では、半導体部品の製造に不可欠なイオン注入プロセスの作成と監視に使用されています。AMAT xR200は、高スループットと高効率イオン注入の両方を提供する自己完結型システムです。ユニットには、イオン源、加速器部分、減速器部分、組立ラインが含まれています。イオン源は所望のイオンの種類と量を生成する責任があり、これらのイオンは加速器部分に沿って所望の速度とエネルギーに加速されます。次に、減速器セクションに入り、イオンの所望の特性を操作して、その位置と線量率を独占的に制御します。必要な特性が設定されると、イオンは必要なインプラント種に応じて、プラスまたはマイナスの毛布用量で組立ラインに注入されます。注入時に投与率を調整することができ、ユーザーは基板全体に所望のレベルのドーパントを保持することができます。組み立てラインに入ると、イオンが監視され、埋め込みパラメータを調整することができます。応用材料xR200は、ビーム電流の0。1％の分解能を備えた高精度で精密な機械です。これにより、インプラント用量を非常に正確かつ再現性のある制御が可能になり、幅広いインプラント種での使用に適しています。その高度な制御システムはまた、温度変化の下で優れた安定性を提供し、線量率が安定して一定であることを保証します。さらに、xR200にはさまざまな安全機能が装備されています。Safety Interlock Assetは、超高速の荷電粒子とRFエネルギーの両方にオペレータが偶発的に露出するのを防ぎますが、Fault-Safe機能により、障害が発生した場合にモデルがシャットダウンすることが保証されます。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS xR200は正確で信頼性の高いイオンインプランターおよびモニター装置です。高いスループットと高効率の動作により、半導体やマイクロエレクトロニクスの製造プロセスでの使用に最適です。また、高度な安全機能により、ユーザーは安心してご利用いただけます。