中古 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #293814441 を販売中

ID: 293814441
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2000
Implanter, 6" Central Processing Unit (CPU): MVME162-P244LSE Gas box: BF3 Safe Delivery System (SDS) PH3 Safe Delivery System (SDS) AsH3 Safe Delivery System (SDS) SiF4 Safe Delivery System (SDS) Argon (External Feed) Chamber: CT-10 Cryo pumps Source turbo: STP-1000C Mass Resolution Slit (Mrs) turbo: STP-361C Source backing: QDP40 Wafer loader: QDP80 EH500 Blower Source type: Indirectly Heated Cathode (IHC) Enlarged chamber High Density Plasma Flood System (HDPFS) Wheel: DIRECT DRIVE Wafer on gripper sensor 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR200は、多種多様な材料の高精度処理を可能にする高度なイオンインプラントおよびモニターです。このモデルはチップ製造に特に適しており、各イオンインプラントの正確な深さと組成を制御することができます。AMAT xR200は、さまざまなアプリケーションに最適な印象的な機能を多数提供しています。インプラントビームの方向と角度を正確に制御できる高精度の4軸ビームシフターを誇ります。これは、最終製品の正確な望ましい化学組成を達成するために有利です。また、高解像度のコンピュータ制御ビームジェネレータを備えており、各インプラントに精密なビーム成形および変調制御を提供することができ、非常に正確で正確な結果を得ることができます。注入工程で発生する不要な粒子を簡単に処分・処分できるクリーニングステーションを備えています。これにより、ダウンタイムを削減し、注入品質を向上させることができます。さらに、APPLIED MATERIALS xR200には、注入ビームを監視し、注入が指定されたパラメータ内にない場合にオペレータに警告するビーム監視システムが内蔵されています。これは、インプラント結果が成功し、一貫していることを保証するのに役立ちます。XR200には、オペレータが直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して注入パラメータとレシピステップをロードして保存できる自動レシピローダーが含まれています。この機能は、セットアップ時間を大幅に短縮し、最も効率的で正確な植え込みプロセスをサポートします。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS xR200は、精密半導体加工に最適なソリューションです。その高度な機能とツールは、チップ製造から他のイオン注入アプリケーションまで、幅広いアプリケーションに最適です。その高精度制御、自動化されたレシピローダー、およびビーム監視システムは、オペレータが毎回最高の結果を達成することを保証します。さらに、直感的なユーザーインターフェイスと使いやすいクリーニングステーションにより、使いやすくメンテナンスも簡単です。優れた機能と性能を備えたAMAT xR200は、最高レベルの半導体加工精度と再現性を実現するための最適な選択肢です。
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