中古 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293816344 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS xR120は、さまざまな産業および科学的ニーズに正確かつ効率的な性能を提供する大面積イオンインプラントおよびモニターです。AMAT xR120は、強力なスパッタイオン源、統合された光学系、および大型で読みやすいディスプレイを備えているため、あらゆる種類のイオン注入アプリケーションに最適です。アプライドマテリアルズxR120は、高周波電源を使用してイオンのビームを生成し、そのビームを基板材料に向けて移植します。ビームエネルギーは通常30〜120 keVの範囲にあり、ビーム電流は0。1〜1000 µAの範囲で調整可能です。この装置は、ホウ素、窒化物、リンなどの幅広いイオンを埋め込むために使用できます。XR120には、高分解能ポジションセンサ、複数のイオンおよび電子検出器、および統合された充電状態モニタシステムも含まれています。モニターユニットは、イオン注入プロセスの正確な制御と調整を可能にし、イオン線量、角度分布、ビーム位置の自動微調整を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS xR120は、ウェハスケール注入、マスクベース注入、シーケンシャルまたはローカル注入など、さまざまな注入プロセスに適しています。このデバイスは優れたレベルの均一性に達することができ、低イオン拡散を必要とする移植手順に最適です。AMAT xR120は、信頼性が高く効率的なイオンインプランターとモニターを必要とする人々に理想的なデバイスです。APPLIED MATERIALS xR120は、イオン注入プロセスを正確に制御することができ、統合されたモニタリングマシンは、プロセスが安全で効率的で再現性があることを保証します。このデバイスは、精度と信頼性が最も重要な工業用または研究用アプリケーションに最適です。