中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Wheel for 9500 #9261936 を販売中

AMAT 9500-Wheelは、半導体製造プロセスで使用されるイオンインプラントおよびモニターです。この高度な技術は、高性能の埋め込みプロセスに最適です。9500-Wheelは、イオンをウェーハに埋め込み、埋め込みの速度、均一性、用量を監視するように設計されています。ホイールは、ベースホイールと荷電粒子ソースモジュールのセットで構成されています。この9500-Wheelは、マルチアークイオン注入器を使用して、ウェーハにイオンを注入します。このイオン注入器とモニターは、注入、コーティング、スパッタリングなど、さまざまなバックエンド半導体製造プロセスに使用できます。この9500-Wheelは、精密な埋め込みを可能にするマルチアーク配置スキームを使用してイオンインプランターで高性能に設計されています。この配置により、ユーザーは高用量のイオンを生成して注入することができ、均一なイオン分布と精度を保証します。ホイールにはマルチソース設計があり、ユーザーは個々のソースごとに放出電流、ソース電流、およびイオン電流を個別に制御することができます。さらに、ホイールは個々のプロセスのニーズに応じて調整することができます。この装置は、イオンビーム位置と発散を柔軟に制御し、均一なカバレッジを維持するためのトルク補償を提供します。9500-Wheelは、アプリケーションに応じて利用可能なイオン源の広い範囲を持っています。このシステムは、標準的なイオン源と強化されたイオン源の両方を提供するように設計されています。標準イオン源は、低から高まで幅広いイオンエネルギーを一般的に注入します。強化されたイオン源は、高用量と均一性を提供します。さらに、このユニットには、埋め込まれている材料の気孔の存在を正確に検出できるマルチチャネル気孔検出機が装備されています。9500-Wheelはまた、監視機能の範囲を提供しています。その高度なモニタリングツールは、移植の準備から移植までのプロセス全体を監視するように設計されています。この資産は、インプラントを成功させるためにプロセスで調整する必要があるものについての洞察を提供します。このモデルは、イオン線量、インプラント角度、ウェーハ温度などの重要なパラメータを監視するように設計されています。さらに、モニターは、ソースの安定性、ビームプロファイル、およびソース位置に関するフィードバックも提供します。全体として、APPLIED MATERIALS 9500-Wheelは、高度なイオン注入およびモニタリングプロセスのための強力なツールです。このイオン注入器とモニターは、効率的かつ正確なプロセスのための機能と機能の広い範囲を提供します。9500-Wheelは高用量で一貫した均一な注入を提供するように設計されており、現代の半導体生産プロセスに最適なソリューションです。