中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN Solion XP #9211008 を販売中
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販売された
ID: 9211008
ヴィンテージ: 2012
Ion implanter
Max energy: 15 keV-PH3/H2
(16) Wafers on platen clamp on electrostatics E-chucks
(8) Loadports
(2) WTM (Wafer transfer module)
(4) Loadlocks (2 Per belts)
Transfer chamber
With (2) robots
Implantation chamber
Source chamber
Spare parts included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion XPは、集積回路からコーティングされた自動車部品までの用途向けの高精度インプラントを製造するために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。この高度なインプランター/モニターは、幅広いビーム電流と用量からイオン埋め込みを生成することができ、高精度のインプラントが得られます。AMAT Solion XPには、信号分離とノイズ低減のためのデジタル信号処理、正確なインプラント配置のための高精度のデジタルステージ、最高レベルのプロセス制御のためのスイッチングおよび制御システムが含まれています。VARIAN Solion XPは、幅広いビーム電流と用量からインプラントを製造することができます。これにより、オペレータは、数千KEV/ガウスの高級インプラントに低マグニチュードのインプラントから、インプラントの投与量、配置、純度を制御することができます。この精度により、インプラント領域内の特定の層またはコンポーネントをターゲットにするインプラントも可能になり、より洗練されたインプラントとデバイスのパフォーマンスが向上します。APPLIED MATERIALS Solion XPは、高い精度でインプラントを製造できるだけでなく、業界標準のユーザーインターフェイスも提供しています。これにより、ユーザーはビーム伝搬を監視し、リアルタイムでビームパラメータを管理して調整し、最適なインプラント結果を得ることができます。このユーザーインターフェイスは、ツール全体の状態をリアルタイムで監視することもでき、オペレータはツールの状態を確認し、問題がないことを確認することができます。Solion XPには拡張可能なメモリ機能も搭載されているため、インプラントのワークピースのストレージ容量を事実上無制限にすることができます。これは、より大きな部分だけでなく、複数の部分を積むことができ、オペレータがイオン注入プロセスを完全に制御できることを意味します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion XPは強力で汎用性が高く信頼性の高いイオンインプラント/モニターであり、幅広いビームおよび用量から高精度なインプラントを製造することができます。業界標準のユーザーインターフェイスにより、注入プロセスの監視と制御が容易になり、高精度な製品が得られます。拡張可能なメモリ機能により、複数のワークピースをロードすることができ、事実上無制限のストレージ容量も可能です。
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