中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9225919 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、高性能イオンインプラントとモニターの組み合わせ機器です。このシステムは、半導体デバイス製造のためのイオンインプラントの効率的な埋め込みと監視を容易にするように設計されています。この組み合わせユニットは、高エネルギーイオン注入器と、注入時のイオンドーピングレベルを測定するための光放射分光計（OES）で構成されています。AMAT量子Xインプランターは、ホウ素、ホウ素化合物、炭素、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、および他のドーパントを含む複数のイオン源に対応できます。それに350 keVまでおよび10 25µmの点サイズのための調節可能なビーム同心性のエネルギーレベルおよびイオン固まりの広い範囲があります。また、RF保護された真空チャンバーを備えているため、高感度化合物の埋め込みが可能です。さらに、高度なクローズドループ制御機を使用して、材料沈着を正確に制御します。このツールのOESコンポーネントは、着床時のイオンドーピングレベルのリアルタイム測定を容易にします。OESは、185nmから1000nmまでの検出範囲を拡張した2チャンネル光分光計を使用して、高い信号感度と再現性を確保しながらドーパントの活性濃度を測定します。さらに、埋め込みアルゴリズムは、インプラントの異常をすばやく識別して対処するために、インプラントのプロセスパラメータの不安定性を識別して報告することができます。アプライドマテリアルズQuantum Xは、高出力イオンインプラントと光放射分光計の組み合わせにより、高度なICデバイスのハイスループット製造に最適です。イオンドーピングレベルの迅速かつ正確な埋め込みと測定を可能にすることで、プロセスの変動を低減し、デバイスの歩留まりを向上させます。また、プログラミング、監視、データロギングを支援する使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も提供しています。信頼できる動作を保証するために、Quantum Xにはイオンソースのトリガーやリモートシャットオフなど、いくつかの安全機能が含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、堅牢な設計と組み込み性能監視アセットにより、さまざまな先進的なプラズマエッチングおよび成膜プロセスと統合できます。その耐久性と柔軟性により、半導体デバイスおよびMEMS製造に最適なインプラント・モデルとなります。