中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9093635 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X
ID: 9093635
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Implanter, 12", 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、半導体材料をドーピングする目的で、半導体ウェーハに低エネルギーイオンを供給するために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。コンピュータ制御のX、 Y、 Z動作下にダイレクトドライブ、3軸電動ウェハーマニピュレータを搭載した高精度な機器です。これにより、ウェーハをターゲット軸に正確に配置して埋め込むことができます。AMAT Quantum Xには、高度なビームスキャン装置も搭載されており、インプラントの精度と均一性を最大限に引き出すことができます。アプライドマテリアルズQuantum Xは、最新のプラズマ浸漬高エネルギーイオン注入を容易に実行します。低エネルギーイオンを埋め込むように設計されており、多くの半導体製造プロセスに適しています。さらに、Quantum Xは高度なビームスキャンとチューニング機能を備えており、正確な埋め込みを保証します。これには、電流の調整、エネルギーの調整、スキャンされた領域の制御が含まれます。内蔵のアラームシステムは、ビームが事前設定された動作制限を超えた場合にもユーザーに通知します。信頼できる埋め込みに加えて、AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは高精度のモニタリングユニットを備えており、リアルタイムおよびポストプロセスデータをグラフィカル形式と数値形式の両方で提供します。このマシンは、最適なドーピングレベルを確保するためにビーム制御とエネルギー比の組み合わせを使用しています。さらに、AMAT Quantum Xには、人員と機器の両方を放射線から保護するさまざまな安全機能が組み込まれています。アプライドマテリアルズQuantum Xは、あらゆる半導体生産ラインに不可欠なツールです。低エネルギーイオンの正確な埋め込みと、埋め込みプロセスのリアルタイム監視を提供します。高度なビーム制御、アラームツール、安全機能を備え、あらゆる半導体製造工場に最適です。
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