中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9379893 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、処理された材料に対するより良い電力制御を提供するように設計された統合されたイオン注入器およびモニターです。AMAT Quantum X Plusは高効率に設計されており、高精度、高解像度のビーム制御を備えており、より正確な線量補正とインプラントの均一性を向上させます。この装置には新しい64ビットプロセッサが搭載されており、より多くの処理能力と堅牢なデータ分析を可能にします。アプライドマテリアルズQuantum X Plusは、ビーム安定性を向上させるように設計されたマルチチャンネルEガンを備えており、汚染を最小限に抑えてプラズマの均一性を実現します。ウェーハ表面からイオン種を一定のエネルギーで逆散乱させるために構築されており、各粒子種の用量を正確に設定することができます。Quantum X Plusには直感的なユーザーインターフェイスがあり、インプラントのプロファイルを簡単に設定および実行できます。システムにはマルチスレッドのイオンビームモニターが含まれており、インプラントのリアルタイムのビーム制御と監視が可能です。インプラントからのデータを他のシステムに簡単にエクスポートして、さらなる処理や分析を行うことができます。このユニットはまた、プロセス検証のための粒子分析を提供することができます。これにより、着床前にウェーハの欠陥を検出することができます。また、高精度のビームストッパーを使用して、粒子がターゲット領域の外に出るのを防ぐこともできます。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、より均一なインプラント分布を提供するために、マルチステージソース磁石を備えています。この機械には、より良いプラズマ均一性を提供し、粒子の汚染を最小限に抑えるように設計されたマルチゾーンエンドステーションも含まれています。エンドステーションにはガス供給ツールも改良されており、ビームの安定性と均一性が向上しています。さらに、AMAT Quantum X Plusは、安全性と信頼性を考慮して設計されており、内蔵の安全インターロック資産とアクティブな安全監視モデルを備えています。この装置には、各サイクルで高品質のインプラントを確保するためのインテリジェント温度制御システムも装備されています。全体的に、アプライドマテリアルズQuantum X Plusは、高度で高効率なイオンインプラントとモニターです。これは、優れたビーム制御と監視機能だけでなく、プロセス検証のための粒子分析を提供します。各プロセスサイクルで安定したインプラントを確保するために、複数の安全システムを備えた安全性と信頼性を確保するために構築されています。