中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9248922 を販売中
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ID: 9248922
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2007
High current ion implanter, 8"-12"
FI + Load ports
Quantum III beam line
Beam line module
Beam line rack
Processor rack
Processor module
Ion source module
Computer table
Accessories
Mains matching transformer
ISO TX
Roof panels
Enclosure ends panels
Doors
Ground plane rack
Ground plane ISO TX to rear of processor
Quantum X plus safety guards
Cryo lift rail long
Goal post
Enclosure rails
Earthing lances
Earthing blade assy
Earthing blade shaft / Handle
Beamline doors enclosure
Beamline door struts
Beamline extraction
Beamline ground plane
Cryo lift rail
Roof extraction
Lights and diffusers
Monitors
Enclosure doors
Compressor
Heat exchanger
Turbo pump
Cryo Pump with cage
2D Isocentric scanning system
With high tilt up to 60°
Frequency: 50 / 60 Hz
Full load current: 125 A
Overcurrent protection: 150 A
Chillers
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitorは、大量生産における効率的で正確なイオン注入プロセスのために設計された先進的なツールです。AMAT Quantum X Plusは、ハイテクな機能とデザインを備えた既存のイオンインプラントを改良する最先端のイオンインプラントです。アプライドマテリアルズQuantum X Plus Ion Implanter&Monitorは、優れたビームシェーピング技術で設計されており、イオンをウェーハに埋め込む際に優れた精度を発揮します。また、独自のニュートラルビーム分散装置を備えており、着床面積を増加させます。さらに、テーパ効果と不均一な埋め込みを最小限に抑える高耐性アクティブニュートラルビームシェーピングシステムを内蔵しています。Quantum X Plusは、様々な埋め込みプロセスに高速かつ正確に対応できるように設計されており、他のシステムと比較して優れた性能を提供します。これは、4-7 dpa/minの注入線量率、高スループット注入のための優れた分解能、および最大1000-5000 Hzのスキャン速度を提供することができる高用量率を持っています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitorは、オペレータにフィードバックを提供し、環境条件を監視するさまざまなセンサーを備えています。AMAT Quantum X Plusは、放射線からの保護、故障診断、事故からの保護を含む堅牢な安全ユニットで設計されています。さらに、APPLIED MATERIALS Quantum X Plus Ion Implanter&Monitorは、オペレータがイオン注入プロセスを正確に制御できるように、ハイエンドのソフトウェアパッケージで設計されています。結論として、Quantum X Plus Ion Implanter&Monitorは、ウェーハの大量生産におけるイオン注入プロセスの精度と効率を向上させるために設計された技術的に高度な機械です。このツールは、高速実装プロセス、精密ビームシェーピング、埋め込み面積カバレッジの向上、および堅牢な安全システムを提供します。この高度なアセットは、精度と信頼性を必要とするアプリケーションで優れた結果を達成するための理想的なソリューションを提供します。
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