中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9228096 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、高精度イオンインプラントおよびモニター装置です。現在の半導体アプリケーションの厳しい要求に応えるために設計された高性能システムです。高度なデバイス処理と制御のための正確なインプラントと正確な粒子ビーム監視機能を提供することができます。AMAT Quantum X Plusは、堅牢で効率的なチャンバーとビームライン制御を備えたハイエンドのマルチビームインプランタおよびモニタです。コンパクトなプライマリイオンソース設計の3軸ビームシャフトと、大型基板の高速加工が可能な大型チャンバーインテリアを備えています。高度なデバイス処理と制御のための正確なインプラントとパーティクルビーム監視機能を提供することができます。APPLIED MATERIALS Quantum X Plusの主な特徴は、ビームトラップの必要性を排除する低放射プライマリイオンソース設計と低消費電力の高密度インプラントです。また、高度なビームチューニングマシンを備えており、高収量インプラントを提供するためにビームパラメータを正確に制御することができます。さらに、Quantum X Plusは、ビーム電流、位置、温度検出機能を統合して、正確なショットツーショット制御を実現しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、基板の浸食や粒子がインプラント表面に到達するのを防ぐ真空タイトなシールドエンクロージャも使用しています。エンドプレートとインプラント室は、高精度で均一なインプラントを提供するように設計されており、アイソレータは汚染物質を減らし、非常に低い発光インプラントを提供することができます。さらに、Proteusシリーズイオンブースターにより、AMAT Quantum X Plusは最大240 keVのインプラント・エネルギーに到達し、高精度で均一なイオン・インプラントを保証します。最後に、APPLIED MATERIALTS Quantum X Plusは、リアルタイムデバイスの特性評価と分析のための強力なデータ収集および分析ツールも備えています。このアセットは、ARCソフトウェアスイートを使用してトレーサビリティと制御機能を向上させ、ユーザーはすべてのインプラントのパラメータを完全に制御できます。さらに、幅広いツールやアクセサリにより、Quantum X Plusは高度なデバイス特性評価と低コスト製造に最適なモデルとなっています。