中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9220637 を販売中
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ID: 9220637
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
High current implanter, 12"
Energy option: LEAP Ultra low (0.2-80 keV)
APPLIED Door openers
Stand alone
Signal tower: Front and back of tool
Processor:
ISPM Processor
Isocentric scanner
Ultralife QX+ ion source
G1 Electrode: Graphite
Gas panel box: Argon system and gas purge
TEM
LEYBOLD Turbo pump
(3) Cryo pumps
SPECTRA Residual Gas Analyzer (RGA)
MMTX Transformer
Gas panel:
8-Position: AsH3, PH3, GeF4, BF3, SiF4, CO2, 2-Blank
Wafer loader:
(4) Stations SEMI standard wafer loader
Hermos tag reader
SEMI E84 OHT PIO Kit
Low backside particle vacuum end effectors
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、ウェーハ加工のための堅牢な材料特性評価とプロセス制御を提供するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。AMAT Quantum X Plusは、比類のないパフォーマンスと信頼性、および最先端の機能を提供します。アプライドマテリアルズQuantum X Plusは、ホウ素、ヒ素、リン、炭素原子など、ほぼすべてのタイプのイオンを埋め込むことができる高性能イオンインプラントです。精度、精度、再現性の高いレベルを提供するように設計されています。高度な電子銃の技術により、イオン注入プロセスを原子レベルまで制御することができ、最適なウェーハ注入と材料特性評価を提供します。Quantum X Plusは、リモートプロセス監視と簡単なオペレータのフィードバックを可能にする高度なイオン監視システムを備えています。このシステムは、着床プロセスをリアルタイムで最適化するために、着床パラメータのワイヤレス調整を可能にします。イオン電流応答を継続的に分析し、ビームパラメータと測定値を自動的に調整してプロセスを最適化します。モニターの瞬時診断機能により、迅速な故障の分離と修復が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、高度な安全性と環境機能を備えています。マルチレベルのコンタミネーションテスターはイオン汚染レベルを最小限に抑え、安全コンプライアンスロックダウンモードは不正使用を防ぎます。また、システムの安定性を向上させるために、振動や温度プローブなどの環境モニタリング機能も提供しています。AMAT Quantum X Plusのトランスポートチャンバーにより、ウェーハの保管と搬送が容易になります。APPLIED MATERIALTS Quantum X Plusは、強力で信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターで、堅牢な材料特性評価とプロセス制御を実現します。その高度な機能と能力、原子レベルまでイオンを制御する能力と組み合わせることで、ウェーハ処理に不可欠なツールとなります。
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