中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9175678 を販売中
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ID: 9175678
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
High current ion implanter system, 12"
Currently installed
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、高収量の半導体製造の厳しい要件に対応するために設計されたイオンインプラントおよびモニターです。これは、最高レベルの安定性、機器インテリジェンス、および制御レベルによって駆動される生産性の向上と、絶対的な最高の信頼性基準を満たすように設計されています。本装置は、基材のフィルムや基板を損傷することなく、正確に集束されたイオンを正確にパターン化した基板に適用することができます。これにより、より効率的で信頼性の高いデバイス製造が可能になります。AMAT Quantum X Plusは、最大1。2ミリアンペアのビーム電流を有し、最高のエネルギー処理ニーズに適しています。利用できるビーム走査区域はいろいろな基質に容易に合わせ、ビーム走査システムは均等性および正確さの線形ビーム走査を保証します。このユニットはまた、リアルタイムイオン注入プロセスを監視するための瞬時イメージングマシンを提供します。このモニターは、インプラント用量、基板面積、フィルムの完全性をグラフィカルに表示し、ユーザーが即座に修正と変更を行うことができます。さらに、APPLIED MATERIALTS Quantum X Plusは、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を向上させる自動使用ポイント監視機能を備えています。このツールは、迅速かつ効率的なリコールのための最も一般的な基板の画像とパラメータを保存します。ユーザーはまた、ビームと基板パラメータのチューニングのために、オンボードプログラマブルコントローラでインプラント処理をカスタマイズすることができます。Quantum X Plusは、優れた制御性、イオン線量分布、および短いプロセス時間を備えています。これにより、大量生産アプリケーションでのプロセッサイオン注入および監視に最適です。この資産の信頼性と精度は、製造された部品の品質に対する最大限の信頼を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、高度で信頼性の高いイオン注入とモニタリングワークステーションの1つです。
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