中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap III #9086473 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap III （QIII）は、生産中に高精度で正確な線量制御を提供するように設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。システムのPWM （Pulse-Width Modulated）技術は、低エネルギーから中程度のエネルギーレジームで幅広いイオン種を駆動し、多数のインプラント用途に対応します。QIIIは、2つの加速器源のうちの1つを利用して、各プロセスのヒステリシスを調整および維持することができます。QIIIは、ビーム位置を常に計算するための高感度ビーム位置モニタ（BPM）を内蔵しており、ストレートネスエラーの並列補正と正確なターゲットアライメントを可能にします。統合されたビームシェーピングユニット（BSS）は、実行とバッチ間の整合性のための均一なビームプロファイルも提供します。さらに、QIIIは、迅速な時間枠で完了する必要がある非標準インプラントの場合には、高速アークテーブルでアップグレードすることができます。マシンのオープンプラットフォームは、標準的なインプラントのレシピと非標準のインプラントのレシピの両方を処理することができ、各構成はツールのレイアウトとして保存されます。さらに、カスタマイズ可能なハードウェアのセットアップにより、実行ごとに正確な調整が可能になり、ダウンタイムを最小限に抑えながら、さまざまなインプラントのレイアウトに対応できます。また、QIIIは高速プロセスと低速プロセスの両方で実行することができ、ユーザーはより高いスループット収率を達成するために線量率を調整することができます。インプラント中の正確さと安全性を確保するために、QIIIは一連のアラームとシャットダウンを備えています。故障が発生した場合、資産は、発生する可能性のある損傷を減らすために迅速にシャットダウンするように設計されています。最後に、このモデルの広範なサービスメニューは自動診断機能を提供し、問題を迅速に診断して修復するのに役立ちます。AMAT Quantum Leap III （QIII）は、信頼性が高く精密なイオンインプラントおよびモニター装置で、低から中程度のエネルギーインプラントの処理に最適です。そのさまざまなカスタマイズオプションは、必要な安全性と精度を提供する統合アラームとシャットダウンを備え、さまざまなインプラント用途に最適です。