中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap II #293755366 を販売中

ID: 293755366
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Ion implanter, 12" Process: Low energy implant FOUP Factory interface Quantum leap implanter NOVAPURE egs237 scrubber Heat exchanger CIM 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap IIは、ウェーハ処理用に設計されたイオンインプランター&モニターです。これにより、デバイスメーカーは、コストを削減し、より少ないエネルギー消費で高品質の半導体デバイスを達成することができます。この機械は、最大40MeVビームエネルギーを持つエネルギッシュな種と非エネルギッシュな種の両方を埋め込むことができ、粒子微小線量測定をリアルタイムで監視することができます。AMAT Quantum Leap IIは使いやすさのために設計されており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとレシピ管理のための高度なレシピ機能を備えています。また、高品質のインプラントを確保するために、統合された粒子除去コントローラを備えています。さらに、高度なパターン認識アルゴリズムを使用して移植種のプロファイルを正確に制御する高解像度イメージング監視システムを備えています。APPLIED MATERIALS Quantum Leap IIの注入力は、最大60Aの電力を供給する高効率電源ステージによって提供されます。この段階は、AMATイオン注入技術と同じ規格に構築された統合イオンソースチャンバーによって補完されます。これにより、イオン産卵パターンとビーム抽出効率を最適化できます。Quantum Leap IIは、最大限のプロセス制御とインプラントの均一性を実現するために、特許取得済みのビーム監視顕微鏡を備えています。この顕微鏡は、ビーム強度、プロファイル、および粒子流動をリアルタイムで監視します。特別な高度なビームコントロールパネルを使用すると、ビーム放射やインプラントのパラメータなどのパラメータを正確に調整して、プロセスのパフォーマンスを最適化できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap IIは、チャンバー汚染モニタ、高スループット、高精度プロセス制御などの高度な機能を提供します。独自のローディングマガジンにより、1日に最大3000個のウェーハをインプラント室に持ち込むことができ、柔軟な埋め込みとプロセスの最適化が可能です。AMAT Quantum Leap IIは、低コストで高品質のデバイスを実現しようとするデバイスメーカーにとって、強力で汎用性の高いツールです。直感的なユーザーインターフェイスと高度な機能により、優れたプロセス制御結果と世界クラスの製品品質を達成できます。
まだレビューはありません