中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #9228574 を販売中
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ID: 9228574
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Ion implanter, 6"
Utility gas: (Gas name) / Pressure / Flow rate
Ar (Process Ar) / 6.3Kg/cm² / 0.1 SLM
PN2 Process Vent) / 4.2Kg/cm³ / 7 SLM
GN2 (Pneumatics) / 6.3Kg/cm^4 / 2 SLM
Exhaust (Type): Flow rate (CMM) / Size
Beamline / 17, 200 mm
Ion source / 5.66, 110 mm
Fly tube / 5.66, 110 mm
(2) Gas boxes / 5.66, 110 mm
Back & control / 11.3, 200 mm
Cooling water description: Pressure (Kg/cm²) & flow rate temp (« C) & size
Main unit: 4.9, 19-5 20~25, 3/4"
Heat exchanger: 4.9, 37.8, 20-25, 1 1/4"
Cryo compressor: 4.9, 13.5, 20~25, 1/2"
Processor module:
Front door: Cylinder swing type
Flat notch
(5) Cassette trays
Carousal
Cassette indexer
Wafer blade
Hollow gripper arm
Arm position sensor
Orienter sensor
Cleanroom I/F monitor: TFT & lightpen
VME: Mobile cont module
Wheel module:
Wheel std 25 h/sinks, 6" Si coated
Heat sink: 0°C
Standard PFS type
Advance PFS power supply
Standard scan system type
Spin system: DD Motor & motec
Tilt angle: 0~7°C
PFS Gas panel: Ar bleed box
HYT Sensor
Ferro seal flow meter
Source / Terminal module:
Ion source: Bernas type (No ovens)
No vaporizer
Filament P.S
Arc P.S
Extraction P.S
Extraction suppression P.S: Hitek series 1000
Source magnet extended
AMU P.S
Post acceleration P.S
Maximum post voltage: 160 kV
Extraction electrode: Dual bellows
MRS chamber exhaust
Facility module:
DI Water resistance control
Internal heat exchanger system
Facility entry direction: Bottom entry
Gas box module:
Gas box type (4) gas modules
Purge module high pressure (Ar)
Gas module 1 HP (BF3)
Gas module 2 SDS (SiF4)
Gas module 3 SDS
Gas module 4 SDS (AsH3)
Vacuum system:
Source turbo pump: LEYBOLD TMP-11000 C
Source turbo controller: LEYBOLD TMP-11000 C
MRS Turbo pump: LEYBOLD TMP-301
MRS Turbo controller: LEYBOLD
(2) Wheel chamber cryo pumps: CTI Torr-10 on board
(2) Cryo compressors: CTI 9600
Beam line dry pump: EBARA A07 V-B
Processor dry pump: EBARA 40 x20
(2) Gas box exhaust flow switches
(3) Ground lances
Drawings / Manuals
SECS Function
Light tower
Cryo pump removal rails
Control module
Control module: CRT Monitor
No alignment tools
DI Water digital indication
Mains matching transformer: STD Type (STL)
Isolation transformer: STD Type (STL)
Utility configuration:
Maximum extraction voltage: 220 keV
Tool specification: Line power
Maximum controller power: 85 kVA
Circuit breaker: 400 Amp
Input power: 203 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase+N
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XRイオンインプランターおよびモニター装置は、半導体業界で使用される最先端の機器です。このシステムには、精密なエネルギー、線量、電流、パルス幅制御のために設計された高度なイオンビーム源が組み込まれており、非常に正確な着床特性を可能にしています。このユニットで使用される制御回路により、ユーザーはインプラント処理中に必要に応じてパラメータを監視および調整することができます。9500XRは、イオンビーム源、一次加速電極機、イオンビームモニターの3つの主要コンポーネントで構成されています。イオンビーム源は、イオンの正確に制御された移植のために最適化され、移植された原子の制御された均一な線量を提供します。一次加速電極ツールは、イオンを制御し、着床現場への電流を調整するために使用されるいくつかの電極で構成されています。最後に、イオンビームモニターは、イオンビーム電流を常に監視し、必要に応じて調整することができます。9500XRのイオンビーム源は、より高い合計ビーム電流とより高いインプラント速度を可能にするユニークな3プレート設計を採用しています。ソースは1マイクロアンペアから20キロアンペアまで動作可能で、最大9 A/cm2のビーム電流を提供します。アセットには、所望のインプラントエネルギーを選択するための調整可能開口イオンエネルギー選択装置が含まれています。一次加速電極モデルは、ビームエネルギーやその他のパラメータを正確に制御するために、さまざまなパラメータを持つ一連の「IVG」電極を利用しています。装置に使用される高度な制御回路により、ユーザーは、移植されたイオンの所望の均一性を確保するために、処理中にパラメータを監視および変更することができます。9500XRのモニターシステムを使用して、ビーム電流、エネルギー、パルス幅、線量などのインプラントのパラメータをリアルタイムで監視できます。モニターユニットには、インプラント部位のビーム電流、インプラントのエネルギー、パルス幅を測定するためのプローブもあります。また、必要に応じてオペレータが即座にパラメータを調整できるようにするデジタルフィードバック制御システムも組み込まれています。全体として、AMAT PI 9500XRイオン注入器およびモニタリングツールは、イオン注入を正確に制御するための強力で汎用性の高いツールです。この資産は、3プレートイオンビーム源、調整可能開口イオンエネルギー選択装置、および高度な制御回路により、用量およびインプラントのエネルギー制御において最高の精度を提供します。オンサイトモニタモデルを使用すると、着床プロセス中にリアルタイムでパラメータを監視および変更できます。この9500XRは、集積回路に最適なインプラント結果を得るための貴重なツールです。
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