中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PI 9500XR #187269 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500XRは、イオン注入プロセスにおけるエネルギー範囲と電流レベルの両方を確実かつ正確に制御できるように設計された最先端のイオン注入器およびモニターです。この9500XRは、エネルギー範囲、電流レベル、および総イオン線量を非常に正確に制御することができ、半導体およびその他の関連産業における重要な埋め込みアプリケーションに最適なプロセス制御を提供します。この9500XRは、最大50µAの広い電流範囲で最大250 keVの注入が可能であり、最大線量配信速度は1。15 µA/cm2です。オンボードマイクロプロセッサは、フィラメントアセンブリとガスフィードの迅速かつ正確な位置決めを可能にし、正確なエネルギー範囲と電流を提供します。9500XRはまた、精度を確保し、ビームエリアスキャンを最適化するために高度なデジタル信号処理（DSP）を組み込んでいます。AMAT強力なビーム位置決め装置（BPS）と組み合わせると、AMAT PI 9500XRは正確で制御可能なビーム位置決め制御を提供します。BPSは、発電ビーム速度の加速と減速、スキャン校正と間隔をアクティブに制御して、ビーム性能を最適化し、所望の線量配信速度を達成することができます。APPLIED MATERIALTS PI 9500 XRの設計は、スペース電荷歪みを最小限に抑え、高品質で安定した反復可能なイオンビームを提供します。無限に調節可能なジオメトリを備えたこのシステムのユニークなガンデザインは、ビームスポット制御とシャープネスの優れた制御を提供します。その浸食制御は、調整を必要とせずに正確なソースの修復を可能にします。このユニットは、安全性と監視機能の範囲を誇っています。そのSiCセンサーは、埋め込みプロセスが常に安全であることを保証します。さらに、その自動マシンは、最小電圧設定または最大電流を超えたときに電源をオフにします。これは、ツールに変動があっても安全で信頼性の高いプロセスを確保するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS PI 9500 XRは、半導体およびその他の関連産業における最適なプロセス制御を保証する高度で信頼性の高い精密なイオンインプラントおよびモニタです。幅広い機能と強力なビーム位置決め機能を備えたAPPLIED MATERIALS PI 9500XRは、信頼性の高い効率的なインプラント・ソリューションを提供します。