中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9121762 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xRイオンインプランターとモニターは、半導体デバイスの製造に使用されるツールです。チップまたはウェーハ基板にイオンを埋め込むために使用され、デバイスの電気特性を調整するのに役立ちます。AKT 9500xRは、いくつかの革新的なデザインを備えたコンパクトユニットで、高効率です。このユニットには2メガワットの高電圧発電機が装備されており、イオンを最大60,000ボルトの速度まで加速することができます。これにより、イオンを基板に埋め込む際の精度と容量を向上させることができます。発電機は、さまざまな金属ドーピング操作にも使用できます。AMAT 9500xRには、インプラント処理中の環境管理を支援するプラズマ制御ユニットも含まれています。このユニットには、プラズマ環境を正確に制御できる電子圧力、電圧、温度センサが含まれています。これは、基板に損傷を与えることなく、最大着床率が達成されることを保証するのに役立ちます。このユニットには、最大イオン線量制御装置も含まれています。このシステムは、ユーザーが着床プロセス全体で常に監視される線量レベルを設定することができます。これは、所望のレベルの埋め込みが達成されることを保証するのに役立ちます。9500xRには粒子検出ユニットがあります。この機械は、高速スキャン電気的方法を使用して、移植されたチャンバーに存在する粒子または汚染物質を検出します。これにより、注入プロセス中に所望のレベルの純度が維持されることが保証されます。最後に、このユニットには高度なタッチスクリーンソフトウェアが含まれており、ユーザーが注入プロセスを簡単に管理および制御するのに役立ちます。このソフトウェアはまた、インプラントのレシピの保存と管理を可能にします。全体として、アプライドマテリアルズ9500xRは、チップまたはウェーハ基板にイオンを埋め込むための効率的で信頼性の高いツールです。ユニットは高精度であり、その特徴は滑らかで制御された着床プロセスを可能にします。