中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9089626 を販売中

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ID: 9089626
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
High current ion implanter, 8", 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR Ion Implanter&Monitorは、高度なイオン注入装置であり、非常に正確で正確な注入操作を行うことができます。半導体、金属酸化物、非金属材料など幅広い基板にイオンを埋め込むことが可能です。自己完結型のユニットで、PCに簡単に接続できます。AKT 9500xRは、最大500keVのイオンエネルギーと最大12 パルス/nsecの埋め込み速度で実現できます。このユニットのイオン源は、高性能の熱イオン源であり、加速されたイオンビームを生成し、所望の材料にインプラントすることができます。イオン源は、イオンエネルギーとビーム電流を正確に制御することができ、所望のインプラント形状を容易に実現できます。また、インプラントのパラメータをリアルタイムで監視および記録する自動ビームモニター(ABM)も備えています。これは、インプラントのプロセスの詳細な画像を提供し、インプラント条件の最適化を可能にします。モニターには、投与量、イオンエネルギー、インプラント率などの埋め込みパラメータを簡単に操作できるグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。ビームモニターはまた、ビームの状態でオペレータにフィードバックを提供し、イオンエネルギーを簡単に調整してインプラントのプロファイルを最適化することができます。AMAT 9500xRは、さまざまな材料で信頼性の高い正確な注入結果を提供するように設計されています。精密なエネルギー制御とビーム安定性を実現する高度なビーム制御技術により、精度を実現しています。また、精密なビーム集中を提供する精密なイオンたわみツールを備えています。さらに、この資産にはいくつかの安全機能が内蔵されており、電気故障時のオペレータの怪我を防ぎます。全体として、APPLIED MATERIALS 9500xR Ion Implanter&Monitorは、正確で正確な注入結果を提供する信頼性と洗練されたモデルです。高度なビーム制御技術、高性能のサーマルイオン源、および詳細なグラフィカルインターフェイスにより、反復可能で一貫したインプラント・プロファイルを必要とするアプリケーションに最適です。
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