中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #293814501 を販売中

アプライドマテリアルズ9500xRは、高性能で費用対効果の高いイオン注入およびモニター装置です。イオン線量、エネルギー、ビーム均一性、スキャン速度制御に優れた制御を提供するとともに、幅広いプロセスニーズに柔軟に対応できるように設計されています。アプライドマテリアルズ9500 XRは、マルチコラム可変エネルギーアーキテクチャを使用して、あらゆるサイズの半導体ワークの基板全体にわたって正確で一貫したイオンビームを提供します。その可変ビーム電流技術は、任意の用量とエネルギー範囲で高速な電流設定を可能にし、最適な柔軟性と制御を可能にします。9500xRは、簡単なサンプルの読み込みと調整のために自己整列基板アセンブリ機能を利用しており、高度なコンピュータ制御イオンソースを備えています。コンピュータ制御ソースは、イオンビームスキャンププロセスの最適化を支援し、効率と再現性を向上させるように設計されています。さらに、9500 XRは高度なプラズマ制御を提供し、最適なインプラント条件を達成するためにプラズマパラメータと可変パルスイオン源の独立したチューニングを可能にします。APPLIED MATERIALS 9500xRには、着床後のリソグラフィとモニター制御機能の両方が含まれています。高度なリソグラフィ制御により、ユーザーは非常に効率的な方法でインプラント用量とエネルギーを迅速かつ簡単に調整することができます。APPLIED MATERIALS 9500 XRのモニタ制御機能は、移植後の光抵抗やシート抵抗測定など、インプラントのパラメータを測定、監視、比較するための堅牢なシステムを提供します。これは正しい埋め込みを確認し、期待される結果が達成されることを確実にするのに役立ちます。9500xRにより、インプラントの生産性と基板スループットが向上し、他の自動基板処理および輸送システムと統合することができます。過酷な生産環境での信頼性の高い動作により、長い生産作業中に高い歩留まりと一貫したパフォーマンスが保証されます。全体として、9500 XRは高性能で汎用性の高いイオンインプランターとモニターユニットです。正確で一貫したインプラント性能を提供し、幅広いプロセスニーズに柔軟に対応できます。過酷な生産環境での高度な制御機能と信頼性により、最適な性能を達成するための信頼性と効率の高い機械を探している半導体デバイスメーカーにとって理想的なソリューションです。