中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #293802509 を販売中
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APPLIED MATERIALS 9500xRは、ハイスループット処理のための高度なイオンインプラントおよびモニターです。産業用半導体製造において、より高性能でプロセス制御性を向上させるために開発されました。これは、単一のスキャンで複数の深さプロファイルにさまざまなエネルギーとビームパラメータを正確にイオンを埋め込むことができます。応用材料9500 XRに最大限に活用された線量の均等性、より高い線量率、およびプロセス中の改善された線量の安定性を可能にする高度のビーム制御装置があります。9500xRは、複雑な超高速電子デバイスの製造をサポートするように設計されています。高度な平面高解像度イメージングシステムを搭載し、サブミクロン分解能でウェーハ表面の詳細なスライスを生成することができます。この画像は、高解像度のインプランタ制御パラメータとビームプロファイルを生成するために使用され、処理される材料に正確で均一なイオン注入を可能にします。9500 XRはまた、製造されるデバイスの特定の要件を満たすために操作を迅速かつ簡単に変更できる高度な構成ユニットを備えています。動作状態は常に監視され、矛盾またはエラーがすぐに検出され修正されます。この機械には、プロセスが実行されるにつれて、粒子、不整合、およびその他のエラーの存在を検出するさまざまなセンサーと電気部品が装備されています。APPLIED MATERIALS 9500xRはまた、プロセス中の材料状態を正確に評価し、着床プロセス中に絶えずイオンを監視する高度な光学機械を備えています。最後に、機械には高度なソフトウェアパッケージが含まれており、自動生産ラインでのデバイスの迅速かつ簡単な統合と操作を可能にします。アプライドマテリアルズ9500 XRは、非常に複雑な電子デバイスの製造において最高の性能とプロセス制御を提供できる高度なイオンインプラントおよびモニターです。高度なビーム制御ツール、構成資産、光学モデルは、高精度で均一なイオン注入を提供し、高度なソフトウェアは、自動化された生産ラインにプログラムして統合することを容易にします。
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