中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9210 #293740208 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 9210
ID: 293740208
ウェーハサイズ: 6"
High current ion implanter, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 9210イオンインプランターは、半導体アプリケーションにおいて正確で正確なインプラント効率と均一性を提供するように設計された高度なインプラントおよびモニターです。このデバイスは、ガスの分解を最小限に抑えながら、高精度、均一性、最小資源使用率を提供し、正確な不純物分布を提供することができます。AMAT 9210イオンインプランターは、移植されたイオンビームエネルギー、電流、位置をリアルタイムで追跡するように設計されたスキャンモニターです。モニターは、インプラントの効率と各インプラント周期の均一性を正確に測定します。シングルレベル基板とマルチレベル基板の両方に対応しています。各インプラントの最大精度を保証することで、このデバイスはタイトな位置公差内で正確な高エネルギーインプラントを実行することができます。アプライドマテリアルズ9210インプラントモニターは、幅広いビームエネルギーと電流レベルを受け入れるのに十分な汎用性があります。このダイレクト機能は、ビームの優れた制御を提供し、優れた量産プロセシビリティを可能にします。このデバイスには、ターゲット層へのドーパントの導入を容易にする追加のユーティリティが装備されています。この機能により、インプラント実行中に均質で欠陥のないインプラント・パターンが保証されます。9210はまた、プロセスの信頼性を最適化し、生産コストを削減し、スループット時間を最適化するために、多くの高度な機能を搭載しています。障害分離機能と内蔵の障害診断機能により、ビームパラメータとパフォーマンスのフィードバックを監視できます。さらに、このデバイスには、システムの故障を検出し、異常が発生した場合のアラームと適切な是正措置を提供することができる組み込み診断ソフトウェアモジュールがあります。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS 9210は、精度、信頼性、コスト効率、使いやすさにより、半導体メーカーにとって優れた選択肢です。高度な機能と機能を備えたAMAT 9210は、優れたパフォーマンスと再現性を提供しながら、幅広いプロセスをサポートします。
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