中古 AIBT / ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar #9210937 を販売中

AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStarは高精度イオンインプラントとモニターです。半導体製造に使用され、イオンを基板に正確に組み込むことができます。このプロセスは、高度なエレクトロニクスの生産にとって重要です。AIBT iStarは水平イオンビームを使用して基板にイオンを埋め込む。このビームは、イオン源チャンバと強力なRFジェネレータを使用して生成されます。イオン源チャンバは、調整可能な加速器電圧とビームの精密制御を可能にする偏向コイルのペアを持っています。RFジェネレータは、高濃度イオンビームを生成するために設定された独自の高電圧を使用します。この高濃度は線量精度を向上させ、可変加速器電圧は幅広いビームエネルギーを提供します。ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStarは多軸スキャンシステムを採用しており、着床プロセスにおいて高い柔軟性を実現しています。スキャンシステムは、複数のガルバノメーターを超高速コントローラと組み合わせて使用し、ビームが望ましいパターンに従うことを保証します。IStarには、イオン注入プロセスの変化を検出する高度な監視ツールも含まれています。これにより、オペレータに可能なエラーが通知され、プロセスの信頼性が向上します。最後に、AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStarには、オペレータと機器の両方を保護するためのさまざまな安全機能が含まれています。危険が検出されたときにイオンビームを直ちにシャットダウンする非常停止システムを備え、インターロックにより適切な冷却サイクルなしに高エネルギービームが放出されるのを防ぎます。また、電気スパークのリスクを低減するためにラインフィルターが内蔵されています。要するに、AIBT iStarは強力なベンチトップイオンインプランターとモニターです。精密で柔軟かつ安全なインプランタプロセスを提供し、半導体製造に不可欠な装置です。