中古 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9268910 を販売中

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970Bは、半導体の製造に使用されるイオンインプラントおよびモニター装置です。このシステムは、0。5 nAから10 mAのビーム電流を使用して、広範囲の精度と角度構成にわたってイオンを基板材料に正確かつ一貫した埋め込むように設計されています。HPの8970B単位は均等性、低用量および高用量の注入のためのビームパラメータの優秀な制御を提供します。AGILENT 8970Bの特徴の1つは、広範囲のウェーハにわたる埋め込みパラメータの高い再現性と制御性です。このマシンは、2つのkVおよび2つの電子電圧電源、およびDC/RFパワーコンバータを採用しています。イオンビームフォーカスは、X、 Y、 Z軸の長さとサイズのパラメータを独立して調整できるビームスキャンツールによって制御されます。ビームはアクセラレータ/デフレクタ資産によって駆動され、ビーム電流はファラデーカップを使用して独立して測定されます。このモデルには、ビーム電流モニタ、および移植パラメータを記録し、プロセス変数を監視するためのソフトウェアが含まれています。KEYSIGHT 8970B装置には、ロータリーキャリアやリニアキャリア、シャトルなど、さまざまなウェーハキャリアが装備されています。ウェーハキャリアは、さまざまな厚さとサイズのウェーハに対応でき、直径8インチまでのウェーハに対応できます。システムは完全に自動化されており、さまざまな形状とサイズのウェーハインプラントを実行するようにプログラムすることができます。また、着床前に必要となるウェーハの薄型化や酸化のためのイオン源ユニットも含まれています。8970Bは、高品質な半導体デバイスの製造に不可欠な、正確かつ再現性のある埋め込みおよび加工条件を提供します。また、インプラント分析に優れたモニタリング機能を提供し、さまざまなアプリケーションのインプラント条件を最適化するために使用できます。また、ビーム特性を監視し、注入プロセスの精度と再現性を最適化するために使用することができます。HEWLETT-PACKARD 8970Bツールは、信頼性と費用対効果が高く、イオン注入アプリケーションにとって理想的な選択肢と考えられています。