中古 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9162154 を販売中

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970Bは、半導体デバイス製造のための高精度イオン注入を実現するために設計されたイオンインプラントおよびモニター装置です。繊細で高性能な電子回路や、コンピュータマイクロプロセッサやメモリデバイスなどの部品の製造に使用されています。HP 8970Bは、高速、低消費電力、および/または高信頼性の電子部品のエンジニアリングを支援する汎用性と強力なツールです。デバイスはイオン源、イオンビームモニター、基板ホルダーで構成されています。イオン源は、調整可能なエネルギーレベルでイオンを生成し、処理されるウエハの基板ホルダーまたは抵抗基板に向けられます。イオンビームモニターは、イオンビーム電流と粒子カウントを連続的に追跡し、適切な着床パラメータを確保するために、情報をコントローラに送信します。AGILENT 8970Bは、プロシージャルコントロールオプションの印象的な範囲を提供しています。ユーザーは、2つの可能な方向に注入ビームを設定できます。各方向は強度で調整可能で、調整可能な加速電圧を使用し、ビームフォーカスパラメータを厳格に制御します。このシステムは、基板が真空シールを壊すことなくX、 Y、 Z軸に沿って移動できるため、インプラント操作で高スループットを実現します。さらに、イオンエネルギーと電流レベルは、基板の組成と要件に正確に合わせることができます。注入精度を確保するために、オプションのClose Loop Accuracy Unit （CLAS）は、事前設定された条件に対して注入パラメータを常に監視します。偏差が検出された場合、機械はオペレータに警告し、自動機械的な修正を行うことができます。基板ホルダーとビームの自動微調整を提供します。KEYSIGHT 8970Bには直感的なユーザーインターフェイスが含まれており、インプラントのパラメータ、ビーム軌道、およびツールの制御操作を構成できます。診断および監視情報は、トラブルシューティングまたはデバイスのプロセス制御監視のためにユーザーによって記録およびレビューすることもできます。8970Bは、拡散制御アルゴリズムと抵抗基板電圧電源のリミットセンサーにより、高精度のアプリケーションに特に適しています。このアセットは、環境条件を変化させるための真の時間遅延管理とドリフト補償のために設計されています。HEWLETT-PACKARD 8970Bイオンインプランターとモニターは、カスタマイズ可能なオプションを備えています。