中古 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #9147071 を販売中

AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970Bは、大量の高精度イオン注入アプリケーション用に設計されたイオン注入装置およびモニター装置です。このシステムは、インプラント機能とモニター機能の両方が可能な高度にカスタマイズ可能なスタンドアロンコンソールで構成されています。平面ウェーハや立体ウェーハなど、さまざまな基板上で動作するように設計されています。2軸スキャン機は、X、 Y、 U、およびVスキャナによって個別または同時に制御することができ、あらゆる埋め込みゾーンを正確に配置できます。フォーカシングキャリッジには、四極リニアアクセラレータと正確な用量の適用を可能にする技術が含まれています。正確な線量制御のために、コンソールにはパルスアンプ、ビーム偏向、イオンソースがあり、最大30kV、最大電流は20mAです。このインプランターのモニターは、すべての線量レベルと速度の精度を決定するための広範な診断機能を備えています。インプラント範囲を正確に監視できる3軸リニアライゼーション機能を備えています。このツールには、ビームの光強度に関するフィードバックを提供する組み込みのライトモニターも含まれています。オンボードリードアウト管理アセットは、複数のインプラント実行にわたるデータロギング機能を使用して、統計データの精度と制御を向上させます。HP 8970Bには、2-4D注入用のSIMPLAN Proパターン生成ソフトウェアなど、いくつかのソフトウェアオプションがあります。このソフトウェアは、オペレータにパターン定義、ビーム制御、線量制御のための包括的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。ソフトウェアはまた、ビームの精度を向上させるドリフト補正とアライメントユーティリティを備えています。AGILENT 8970Bの統合された安全機能により、危険物用途に適しています。このモデルは、熱伝導性ポンプ装置を使用して、危険なガスを最小限に抑え、さらに汚染を防ぐためにチャンバー内にセラミック製の狭いスペースを確保しています。また、潜在的な危険な排出から安全を確保するための統合された光学ビーム封じ込めシステムも含まれています。最後に、このデバイスには、マシンのパフォーマンスを監視および調整するための完全自動化されたクローズドループ制御ユニットが付属しています。全体的に、このイオン注入器とモニタリングマシンは、線量、配置、ビーム形状、ビームアライメント、ビームフォーカスを制御するための強力なツールを提供します。統合された安全機能とカスタマイズ可能なソフトウェアにより、8970Bは高精度イオン注入アプリケーションの信頼性の高い機器となります。