中古 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 8970B #171537 を販売中
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AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970Bイオンインプランター&モニターは、ラボや半導体製造工場でウェーハのイオン注入を行うための強力で効率的なデバイスです。半導体製造プロセスで使用されるインプラント手順に最高の精度と信頼性を提供します。高度なイオン光学機器は、インプラントのエネルギーが高い場合でも、非常に高いレベルの線量均一性を維持することができます。イオンインプランターは、ステンレス製の真空チャンバー、ビームラインシース、高解像度ビーム制御システムで構成されています。チャンバー内には、イオンビームを加速および減速するための一連の電極が配置されています。ビームラインシースは、ビームラインを囲む3つのチャンバーで構成されており、接点を通して電気供給を提供し、ビームラインとそのコンポーネントの汚染を防ぎます。HP 8970Bの高度なビーム制御ユニットは、コリメータとドリフトチューブマシンの精密かつ反復可能なアライメントを可能にします。これにより、1。50 Kevsまでの幅広いエネルギー範囲で正確なビームシェーピングと精度を実現します。このビームは、自動最適化(AO)と自動傾き補正(ATC)を含む最適化テクノロジースイートを使用してさらに最適化でき、最適なビームを作成して最大限の均一性と精度を得ることができます。AGILENT 8970Bは、着床プロセスをリアルタイムで監視することができます。ウェーハの表面を観察することでインプラントの進行を監視するために使用できる光学顕微鏡ツールが含まれています。このアセットを使用すると、ユーザーはパーティクルを見つけるだけでなく、温度制御のためのモデルを提供することもできます。8970Bはまたプログラム可能な温度および線量制御を特色にする高度の組合せの部屋を特色にします、ユーザーが必要性に従って装置をカスタマイズすることを可能にします。KEYSIGHT 8970Bはまた、インプラント工程の強力なロボット解析を提供し、汚染レベルを監視するパターン認識システムを備えています。このユニットは、ヒ素、ホウ素、クロムなどの特定の汚染物質を識別することができ、ウェーハに高いレベルの安全性を提供します。さらに、HEWLETT-PACKARD 8970Bには、洗練されたソフトウェアパッケージが含まれており、ラボの既存のITまたはオートメーションマシンに統合できます。要約すると、AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 8970B ion implanter&monitorは、イオン注入を実行するための高度で信頼性の高いデバイスです。洗練されたビーム制御ツールとモニタリングアセットにより、再現性と正確な埋め込み手順が保証され、最高レベルの精度と信頼性が保証されます。パターン認識モデルは、ユーザーが汚染物質を識別して監視できるようにすることで、さらなる安全性の層を追加します。最後に、洗練されたソフトウェア機器により、デバイスは既存のラボおよびオートメーションシステムに簡単に統合されます。
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