中古 YOKOGAWA / ANDO AHM 861 #9376009 を販売中
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横川/安藤AHM 861は半導体工場の生産ラインの使用のために設計されている自動ハンドラー機械です。8インチまでのウェーハ処理を簡素化する高度に自動化されたソリューションです。このマシンは、ハイエンドと通常の生産の両方に適しており、さまざまなウエハサイズと操作の効率的な処理を可能にします。ANDO AHM 861はモジュール式の多機能ユニットで、ウェーハの大量生産を必要とする生産ラインに最適です。このユニットは、輸送、ロード、アンロード、インデックス作成、アクティベート、アクティベポリシング、インターフェイス、およびビジョン検査を含む幅広い操作とプロセスをサポートしています。主移動ロボットに加え、自律的な複数の自律移動キャリッジを装備しています。これにより、入力から出力への正確なウェーハ搬送が可能になります。また、ウェーハの表面欠陥を事前に検出するように設計された高度な検査装置と統合されています。YOKOGAWA AHM 861は使いやすさとメンテナンスのために設計されています。オペレータは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを通じて、パラメータの設定と調整、プロセス操作の定義、システムのパフォーマンスの監視を行うことができます。最適な部品冷却ユニットを搭載し、安定した運転とメンテナンスコストの削減を実現します。また、メンテナンス前後の高速リセットを可能にし、ダウンタイムを最小限に抑えます。AHM 861は、大量生産を必要とするウェーハ処理アプリケーションに最適です。モジュール設計、高度な検査機、直感的なユーザーインターフェイス、メンテナンスフレンドリーな機能により、工場生産ライン向けの信頼性の高いソリューションです。また、コンパクトなサイズのため、さまざまなサイズの工場に簡単に組み込むことができ、効率的な生産と運用のスケーラビリティを実現します。
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