中古 ULVAC Keytran III #9157914 を販売中

ULVAC Keytran IIIは、搬送から研磨、スパッタコーティングまで、さまざまなタイプの半導体ウェーハの搬送と操作に使用される完全自動ハンドラです。これは、ウェーハの取り扱いと保護の最も汎用性と効率的な手段の1つになる機能の完全なセットを提供しています。Keytran IIIは、デュアルメカニカル操作として知られている2チャンバー設計を備えています。メインチャンバーは片方のプロセスからもう一方のプロセスへのウェーハの転送に使用され、もう一方のセカンダリチャンバーは手動操作に使用されます。二次チャンバは人間工学に基づいた設計で調整されており、ウェーハの取り扱いと加工作業を容易に制御できます。2つのチャンバーは、液体窒素を使用して設計された中間冷却ステーションで分離されており、ウェーハの正確な温度と湿度制御の安定性を提供します。このステーションは、効率的な操作を可能にしながら、プロセスの変動を排除します。ULVAC Keytran IIIの制御システムはLinux OSに基づいており、すべてのWindowsおよびMacオペレーティングシステムと互換性があります。これにより、既存の生産ラインに簡単に統合できます。最適なウェーハトランスポートと操作のために、ハンドラーには高度なモーションコントロールサブシステムが装備されています。精密な動きと正確なドットアラインメントにより、微粒子の操作が可能です。Keytran IIIはまた、すべての本番オペレータがすべての設定を迅速かつ効率的に調整できる高度なユーザーインターフェイスを備えています。統合されたヘルプシステムはプロセスを通してユーザーを導き、より大きいバッチを扱う場合でも正しい操作を保障します。さらに、ULVAC Keytran IIIは独自の自動均質化システムを使用して、ウェーハ自体の結晶変動を防ぎます。これにより、生産ラインは設定された精度仕様内に保たれます。Keytran IIIは、信頼性、使いやすさ、柔軟性を提供するように設計されています。その高度な機能は、生産チームの中で最も信頼できるツールの1つです。