中古 SRM H24 #293586546 を販売中
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ID: 293586546
ヴィンテージ: 2003
Handler
2D Mark vision system
PC
Turret / TNR Assembly
2003 vintage.
SRM H24は、さまざまな電子部品の製造に使用される半導体ウェーハおよび薄膜ディスク用の自動ハンドラです。このハンドラは、ウェーハおよび薄膜ディスクの自動ロード、アンロード、および搬送プロセスを提供するように設計されています。その主な目的は、さまざまなプロセス間でウェーハを移動させ、高いロジスティクス効率と歩留まり向上をもたらす迅速かつ効率的なプロセス能力を提供することです。SRM H 24 Handlerは、制御キャビネット、ウェーハカセット、ツーリングポート、輸送室、真空避難装置など、いくつかのコンポーネントで構成されています。制御キャビネットはハンドラーを作動させるのに必要なすべての電気部品およびドライブを含んでいます。また、オペレータがハンドラを監視および制御するために使用できるユーザーインターフェイスも備えています。ウェーハカセットは、ウェーハを格納してハンドラに供給するために使用されます。ツールポートは、セットアップとメンテナンスのためにハンドラにアクセスするために使用されます。搬送チャンバーは、ウェーハがカセットからプロセスチャンバーに移動する場所です。最後に、真空避難システムは、ユニット全体のウエハの適切なアライメントを保証します。H24 Handlerは、さまざまな直径、厚さ、サイズのウェーハに対応できるため、柔軟性に優れています。この柔軟性により、さまざまなプロセスで使用することができます。さらに、統合された管理インターフェイスにより、マシン全体の最適な追跡と監視が保証されます。さらに、H 24 Handlerには、オペレータ、プロセスチャンバー、およびウェーハを保護するための多数の安全プロトコルがあります。緊急時にツールをシャットダウンする緊急停止機能を備えています。また、緊急時にアセットのバックアップを開始するための自動再起動機能も備えています。さらに、このハンドラには、ウェーハの汚染を監視および検出するセンサーが多数搭載されています。SRM H24は、あらゆる半導体製造プロセスに最適な高度な自動化と効率を提供します。その統合管理モデルは、プロセスが正確に従うことを保証します、その安全プロトコルは、オペレータの安全性の高度を提供しながら、。これらのすべての機能と柔軟性と手頃な価格の組み合わせにより、SRM H 24はあらゆる半導体製造プロセスに最適なハンドラーとなります。
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