中古 RASCO SO 1000 #293765490 を販売中

RASCO SO 1000は、さまざまなクリーンルーム環境でウェーハを処理するために半導体製造業界で使用される完全自動ハンドラです。このハンドラは、ウェーハフラックス洗浄用のトランスファーアーム、ウェーハ成長用のマストランスファーマシン、または統合基板トランスファーアームとして構成することができます。RASCO SO1000は、ウェーハ処理インターフェース、ロボットコントローラ、プロセス制御モジュール、および周辺機器の4つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハプロセスインターフェイスは、スキャナ、ウェーハ入出力装置、ウェーハプロセスチャンバーなど、さまざまな機器と接続する機器の一部です。システムの他の部分にコマンドを送信し、ロボットコントローラから受信したデータを解釈し、ユニット操作の完了を制御する責任があります。ロボットコントローラは、ロボットの動きと位置を制御し、速度や加速などのさまざまな機械パラメータを処理する責任があります。これは、強力な16ビットRISCプロセッサ、いくつかのI/Oインターフェース、および機械の他の部分との通信を可能にする通信ポートを含む特殊なコンピュータボードを備えています。プロセス制御モジュールは、ガス、温度、湿度などのプロセスパラメータの設定、監視、制御に使用されます。セルテンプレート、ウェーハリセット機能、バッチ解析などの機能が含まれています。周辺ユニットは、ロボットとツールの他の部分を接続するために使用されます。カセットローダーとアンローダー、ウェハトレイ転送デバイス、ウェハインデクサ、温度制御ユニットなどがあります。ウェハトレイ転送デバイスは、カセットローダーとアンローダーとウェハインデクサの間でウェハを転送するために使用されます。ウェーハインデクサは、ウェーハの高速ソートをサポートするために使用されます。RASSO SO 1000ハンドラは、半導体製造業界のための高効率、信頼性、柔軟性の高いソリューションです。フラックス、クリーニング、エッチング、堆積など幅広い作業に適しています。その包括的な機能のスイートは、その堅牢なデザインと相まって、それはあなたのウェーハ処理のニーズのすべてのための信頼性と信頼性の高いマシンになります。