中古 NUTEK NTM 910TVXL #9286206 を販売中
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NUTEK NTM 910TVXLハンドラーは、半導体製造業界のために特別に設計された自動装置ハンドリングシステムです。このハンドラは、カセット、ロードロック、および処理モジュール間で最大2つのフロントツーバック移動ウェーハを移動できます。これは、可能な限り最高の汚染制御を維持しながら、高収量の生産のために特別に設計されています。このハンドラはモジュール構造で設計されており、ほとんどすべてのクリーンルーム環境に柔軟に統合できます。標準サイズは28。6 x 32。4インチ(WxD)ですが、顧客の要求を満たすためにカスタムサイズを作成することができます。さらに、ハンドラーの制御システムには、LCDタッチスクリーンインターフェイスを備えたPC(デジタル信号プロセッサ)と産業用PCが含まれています。NTM 910TVXLハンドラには、ウェハの安全な配置と取得のための2つのウェーハ転送アームがあり、ウェーハと汚染物質との接触を保証しません。エアーベアリング真空システムを採用しており、ウェーハ移動時のメカニカルレールによる摩擦を排除します。また、ウェーハは機械の中でもサポートされています。ステーション間を移動する間、ウェーハは常に真空によって支えられます。従ってあらゆる可能な汚染物質との接触を避けます。NUTEK NTM 910TVXLハンドラーは、半導体製造プロセスにおけるウェーハの取り扱いに必要なすべての要件を満たしています。既存のクリーンルームの生産セットアップに簡単に組み込むことができ、多くの半導体産業に最適です。また、非常に信頼性が高く、費用対効果に優れていますが、非常に高いレベルの汚染管理を維持しています。全体的な設計は最大限の柔軟性を提供し、多種多様なアプリケーションに最適です。
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