中古 MIRAE MR9210 #9157593 を販売中

MIRAE MR9210は、半導体製造プロセスで使用されるように設計されたハンドラです。4軸ロボットアーム設計を採用し、様々なサイズのウエハに対応可能です。ロボットアームは、X-Y-Z方向に移動できる4つの自由度を持ち、Z軸の周りを回転します。ロボットは、振動や精度を犠牲にすることなく、最大20kgまでのペイロードで375mmまでのウェーハを移動および操作することができます。ボディは無電解ニッケルめっきアルミニウムから構成され、耐久性と振動制御を提供します。絶縁された真空チャンバーにより、正確なウェーハ処理のための安定した吸引が可能です。高品質な電装品を完備し、高速制御システムを備えています。全体のサイクルタイムは0。8秒で、X軸の最大速度は340mm/秒、 Y軸の場合は200mm/秒、 Z軸の場合は110mm/秒です。MR9210はまた自動制御プロセスのための変数を調節するのに使用することができるタッチ画面の表示を提供します。ロボットには6つのプログラム可能な入出力ポートが装備されており、作業環境内の他の自動システムと統合されています。安全性と精度を確保するために、ロボットは、労働者とロボット自体を保護するために設計されたいくつかの機能を備えています。これらの機能には、緊急停止ボタン、安全インターロックシステム、および処理されるウェーハの重量とサイズを自動検出するロードセンサーが含まれます。全体として、MIRAE MR9210は半導体産業で使用するために設計された高度で精密なロボットハンドラです。優れた速度、精度、耐久性を維持しながら、インテリジェントなオートメーションと安全機能を備えた高性能です。MR9210は、半導体生産プロセスの生産時間と品質を向上させることができる効率的で信頼性の高いロボットハンドラです。