中古 MIRAE MR-1300 #9393131 を販売中

MIRAE MR-1300は、大規模な半導体生産環境に特化した高性能ハンドラです。この産業オートメーションソリューションは、完成したウェーハの迅速な積み降ろしを可能にすることにより、生産効率を向上させる時間を節約する機能を提供します。MR-1300には独自に設計された多軸ウェーハハンドリングアームがあり、1つまたは2つの入力ソースからウェーハを正確かつ再現可能にピックアップできます。多軸アームは、さまざまな角度でピックアップすることができ、個々のウェーハの取り扱いと配置を最適化するために手動で調整することができます。その後、サクションカップと2つのロードロックを使用してウェーハを固定します。特許取得済みのロードロックは、ウェーハが確実に所定の位置に保持されることを保証する圧力補償空気調整装置を備えています。MIRAE MR-1300は、必要な移動回数を削減することで時間とエネルギーを節約する高速フローパターンを備えています。この効率の向上により、ウェーハの迅速な再配置とスループットの向上が可能になります。内蔵のオンボードプロセッサは、オペレータに柔軟で使いやすい制御機能を提供します。このプロセッサは、搬送カセットからステージングエリアへのウェーハの転送、ウェーハの向き、仕上げステーションへの転送前のインデックス化など、さまざまな機能を制御するためにプログラム可能です。MR-1300は信頼性および容易な維持のプロシージャのために設計されています。オペレータは、統合された数値制御テスト実行機能を使用して、システムの全体的な健康状態に簡単にアクセスして維持することができます。このテストは、すべてのコンポーネントが期待どおりに一緒に動作していることを確認するために、単位を細かくテストし、評価します。MIRAE MR-1300には、安全プロトコルの違反を検出および応答する安全機能も内蔵されています。機械の安全ツールで変更が検出された場合、アラームがすぐに鳴り、誘導プログラムが設置されます。全体として、MR-1300は信頼性の高い高性能ハンドラであり、ウェーハを1つの場所から別の場所に正確かつ再現可能に転送できます。独自に設計されたピックアップアーム設計により、プロセスが安全であり、ウェーハが安定した精度と速度で保持されることを保証します。内蔵の安全機能は、モデルが安全に動作し、使用中にオペレータが安全に保たれるようにするのに役立ちます。