中古 DELTA CASTLE LX 7500 #9166016 を販売中

DELTA CASTLE LX 7500は、ワンパスで最大7500個のウェハーロットを処理できるハンドラで、200mm以上の広いハンドリング領域と高速ウェハハンドリング装置を内蔵しています。このシステムはまた、ウェーハの取り扱いのセキュリティを確保するためにキャプティブ・クランプ設計を備えています。直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを備えており、各ロットの特定の処理要件を構成するさまざまなパラメータを迅速に設定および再構成できます。LX 7500ハンドラには、手動ハンドロード用の独立したプラットフォームがあり、オプションの外部ピックアンドプレイスデバイスと統合するための専用ポートがあります。また、ハンドラから次のプロセスに素早く材料を移動するためのインライン搬送ユニットを備えています。DELTA CASTLE LX 7500は、基板にウェーハを取り付けるために使用される空気圧制御の真空ヘッドを備えた統合ウェーハリフター機です。このハンドラには、基板クランプが内蔵されており、基板の安全で均一な処理を提供します。オペレータは、標準操作とクランプ操作を簡単に切り替えることができます。さらに、LX 7500は、処理中にウェーハを分解する自己完結型ウェーハセパレータツールを備えています。セパレータアセットは、2つのセルフクリーニングで構成されており、異なる半径でホイールを整列させ、基板内でワープを強制して分離することができます。これらの車輪のサイズはウエハーのサイズに最もよく合うように調節することができます。安全はDELTA CASTLE LX 7500ハンドラの優先事項です。ハンドラーには、さらにウェーハセキュリティを確保するためのロック可能なカバーが含まれています。ハンドラーには、Eストップ、センサー、インターロックインジケータも装備しており、取り扱い作業中の安全性をさらに確保しています。メンテナンスとトラブルシューティングの観点から、LX 7500には自動ウェハクリーニングサイクルと統合診断モデルがあり、問題の診断とトラブルシューティングを支援します。ハンドラーでダウンタイムを最小限に抑え、問題が解決した後に機器をすばやく再起動できます。DELTA CASTLE LX 7500は、幅広いオプションを提供し、様々な基板やウェーハで動作することができ、クラス最高の1つです。