中古 COHU / MULTITEST MT 9510 #293641884 を販売中

COHU/MULTITEST MT 9510は、すべての処理ステップを通じて半導体ウェーハの処理を自動化するように設計された自動ハンドラです。最大3つのキャリアの自動交換をサポートし、任意の入力キャリアまたは出力キャリアの迅速な選択を可能にするオートセレクターが装備されています。このハンドラは、最大径355mmの200mmおよび300mmウェーハを含むさまざまなウェーハサイズに対応できます。高速垂直インターフェイスは、自動システムやスタンドアロン機器へのアクセスを提供します。機械は標準的なインターフェイスを通して装置の範囲に容易に接続することができ多数の適用との両立性は保障されます。高速水平転送により、試験時間の短縮と生産性の向上を実現し、動作速度は最大60mm/sです。COHU MT 9510は、ハイスループットプロセス用の合計4つの負荷位置を持ち、2つは入力用、2つは出力用です。負荷ポートは、キャリアの簡単なロードとアンロードのために設計されています。テストのために、ハンドラには、8ビットまたは12ビットのダイの正確なテストを可能にするダイグラブが装備されており、30 µm以上の精度があります。ダイグラブの垂直位置決め精度は、± 10 µm以上に設定されています。MULTITEST MT 9510にはオートマッピングなどの機能が搭載されており、テスト前に手動でダイをマッピングする必要がなくなります。機械にまた各負荷の後で開始ポイントにウェーハを巻き戻すためのカルーセルプラットフォームがあります。これにより、試験時間が短縮され、精度が向上します。さらに、機器は簡単なメンテナンスのために設計されており、簡単な修理とアップグレードを可能にするモジュラー設計です。このハンドラーは、高度なオペレーティングシステム、TFTカラーディスプレイ、直感的なユーザーインターフェイスを使用して、簡単なナビゲーションと操作が可能です。システムには、システムの問題を検出するアラームと障害検出も装備されています。MT 9510にはデュアルレベルの安全アーキテクチャが装備されており、オペレータは動作中に保護されます。これには、ドアインターロック、非常停止スイッチ、およびハンドラーの周りの照明付き安全エリアが含まれます。全体として、COHU/MULTITEST MT 9510は、半導体製造設備のスループットと生産性を向上させ、最高速度と精度でさまざまな半導体ウェーハ試験プロセスを処理するために十分に装備された自動ハンドラです。