中古 ASYS SSM 03 #9183193 を販売中

ASYS SSM 03ハンドラは、半導体業界で使用される高性能ウエハハンドリングソリューションです。SSM 03メインフレーム、ロボットベース、サンプルチェンジャーの3つのモジュールからなるウェハレベルの包装アセンブリ施設での生産用に設計されています。ハンドラーは非常に有効、容易にあらゆる生産ラインに統合されるように設計されています。ASYS SSM 03 Handlerのメインフレームは、機械とプロセス間の効率的で信頼性の高いウェーハ転送を可能にします。これは、ロボットベースとサンプルチェンジャーの間でウェーハを移動するために使用される電動トランスファーステーションを介して行われます。本体にはオプションの空気圧スタビライザーも付属しており、信頼性の高いウェーハ転送のためにチャンバー内の真空圧力を安定させます。ロボットベースは、ウェーハを正確に取り扱うために設計された自己完結型ユニットです。ウエハの取り扱い、最大250mmのカセットの取り扱いが可能です。ロボットはブラシレスDCモーターで駆動され、リニアサーボ駆動と制御システムを使用してロボットの動きを制御します。また、自動化されたウェーハアライメントに使用されるビジョンシステムも搭載しています。サンプルチェンジャーは、ハンドラ内にウェーハを保存および処理するために使用されます。中央のサンプルスロット、4つのアラインドサイドスロット、2つのアラインドトップスロットで構成されています。サンプルチェンジャーは、ウェーハの輸送、並べ替え、バッチ処理、混合に使用できます。サンプルチェンジャーのコアであるスロットとスロットホルダーは、カスタマイズ可能な構成に最大限の柔軟性を提供します。SSM 03ハンドラは、生産ラインに簡単に統合できる信頼性の高い効率的なウェハハンドリングソリューションです。そのメインフレームは信頼性の高いウェーハ転送を提供するように設計されており、そのロボットベースはウェーハの正確な処理を提供します。サンプルチェンジャーは、さまざまな構成とプロセスをサポートし、汎用性と柔軟性に優れたウェハハンドリング機能を提供します。