中古 AETRIUM 5050 #9150851 を販売中

AETRIUM 5050 Handlerは、効率的で信頼性の高い最新のウェーハ処理機能を提供するように設計されています。最大300mmのウェーハをフルまたはスプリット11で処理できます。この堅牢なデバイスはモジュラー設計を備えており、さまざまなウェーハハンドリングサブシステム（ピックアンドプレイス、ボンディング、ダイソートなど）の容易な統合と、ウェーハケージとカセットの柔軟な構成を可能にします。また、直感的なGUIを備えており、リモートでのトラブルシューティングと機器のパフォーマンスの最適化を可能にします。5050 Handlerは、ガントリースタイルのサーボを備えたリニア駆動のZ軸を使用して、ウェーハの正確で反復可能な動きを実現します。このデバイスは、ツールレスのメンテナンス、ビジョンベースのウェーハ処理、および産業標準通信も備えています。高度なロードセンシングとテスト戦略を利用して、システム全体の精度と再現性を確保します。安全な動作を確保するために、デバイスは現在のすべての安全規制に準拠し、高可用性を確保するために2つの冗長電源を装備しています。ウエハの品質管理を強化するために、パーティクルモニタリングユニットを搭載しており、ユーザーは汚染を自動的に検出できます。さらに、デバイスはウェーハ情報を識別およびログ化し、オンボードの欠陥マーキングを行うことができます。さらに、AETRIUM 5050 Handlerは、ウエハフォルダデバイスを統合してコーナーを迅速かつ正確に折りたたみ、反りウェーハを効果的に平坦化するシーケンシャルレベリング技術を提供します。また、ウェハハンドリング操作を最適化するために使用できるWafmap™ソフトウェアパッケージも含まれています。最大の信頼性のために、このデバイスは、潜在的な電気およびソフトウェアの障害を防ぐために、マシンの電力レベルを監視するためのパワーモニターユニットを内蔵しています。さらに、ハンドラにはウェハレベルの正確な測定を可能にするロードセルが内蔵されており、スピンスタンドを使用してより高速でスムーズなウェハハンドリングを実現しています。全体として、5050 Handlerは、効率的で信頼性の高い最先端のウェハハンドリングソリューションをユーザーに提供します。ユーザーフレンドリーなGUIと高度な信頼性機能により、費用対効果が高く信頼性の高いツールを提供します。