中古 ATMI / ECOSYS Unichem-2900 #9154739 を販売中

ATMI/ECOSYS Unichem-2900は、ウェーハ表面およびマスクの自動洗浄および汚染制御を提供する最先端のウェーハおよびマスクスクラバーです。ATMI Unichem-2900の高度な自動洗浄および汚染制御機能により、半導体、フラットパネル、太陽電池、オプトエレクトロニクス、医療機器の生産ラインで使用できます。ECOSYS Unichem-2900は、成分基板とマスクパターンを保持しながら、ウェーハとマスクの両方を効果的かつ均一に洗浄するための高度な超音波洗浄技術を取り入れています。このデバイスは、10インチの直径スクラブブラシと蒸発水スプレーシステムのペアが含まれており、スクラビングプロセスの正確な制御を提供します。スクラブブラシの振動運動を利用することで、クリーニングプロセスの均一性を向上させ、基板への損傷のリスクを最小限に抑えることができます。また、マスク側Unichem-2900ライン蓄積システムを採用し、加工ラインからの部品や破片の誤った除去を防止します。さらに、ウェーハ側には接着防止洗浄システムを搭載しており、フォトレジスト、薄膜、有機残留物の接着を防止しています。ATMI/ECOSYS Unichem-2900は独特のモジュラー設計を備えており、成膜チャンバー、CMPユニット、検査システムなどの他の互換性のあるプロセス機器と統合することができます。これにより、手動で介入する必要なく、ウェーハとストライプの処理を切り替えることができます。また、設置面積が比較的少ないため、シンプルなタッチスクリーンインターフェイスを使用して操作することができ、さまざまな生産ラインに対応するコンパクトでユーザーフレンドリーなソリューションです。全体として、汎用性と高効率なATMI Unichem-2900自動ウェーハおよびマスクスクラバーは、費用対効果が高く、正確で効率的な洗浄および汚染制御プロセスを採用する生産ラインにとって理想的なソリューションです。装置はまた特別な適用条件を満たすためにカスタマイズすることができます。