中古 UNISEM UN-2000A-WHG #9054648 を販売中

UNISEM UN-2000A-WHGは、プロセス機器間で最大2000個の1インチから4インチの半導体ウェーハを自動輸送するために設計された最先端の自動ウェーハ処理装置です。このシステムは、複数のウエハーを1回の実行で輸送することができ、さまざまなウエハサイズに対応できます。これにより、手動処理と比較して効率的なウェーハ処理と高スループットを実現します。UN-2000A-WHGは、X-Yテーブルロボット、コンポーネントアレイロボット、ウェハエレベーター、フロントエンドローダー、メインコントローラで構成されています。X-Yテーブルは、フロントエンドローダーとコンポーネントアレイロボットの間でウェハカセットを移動することができます。コンポーネントアレイロボットは、ウェーハキャリアを尋問し、ウェーハマップを作成し、データをメインコントローラに送信するために使用されます。メインコントローラは、ウェーハエレベーターとX-Yテーブルロボットを制御するために使用されます。ウェーハエレベータは、ウェーハキャリアとウェーハプロセス機器の間を安全かつ効率的に移動するために使用されます。UNISEM UN-2000A-WHGは、毎分60ウェーハのサイクルタイムで高速かつ効率的です。メンテナンスを最小限に抑え、複数のウエハサイズ、形状、向きをサポートできます。このユニットには、ウェーハ識別用のビジョンマシンが装備されており、プロセス機器とメインコントローラ間の通信のためのハンドシェイクインターフェイスが有効になっています。このツールは、標準およびカスタムサイズのウェーハキャリアを含むさまざまなソースからのウェーハキャリアを受け入れることができます。このアセットにより、ウェーハキャリアとさまざまなプロセス機器の間で1対1のウェーハ位置決めも可能になります。また、窒素や乾燥空気など、さまざまなガスにも対応しています。このモデルは、人間の入力を最小限に抑えた厳密に制御された環境を提供するように設計されています。プロセス精度を向上させるための温度と湿度制御と、オペレータ保護のための安全装置で構成されています。UN-2000A-WHGシステムは完全に自動化されており、オペレータの介入を最小限に抑えて24時間動作できます。このユニットは、半導体、エレクトロニクス、および光学部品製造プロセスで使用するために設計されており、ラボやクリーンルームに適しています。それは良質の部品と組み立てられ、厳密な安全条件を満たすように設計されています。機械は信頼でき、費用効果が大きいです、それを精密プロセス装置の塗布のための理想的な選択にします。