中古 SAES PS7-MGT40-H-2 #293751069 を販売中

SAES PS7-MGT40-H-2は、物理蒸着（PVD）プロセス用に設計された高性能の蒸着装置です。このシステムは、大きな基板領域に均一で高品質の薄膜を堆積する能力を持っています。このユニットには、幅広いプロセス温度を備えたデジタルクローズドループ温度制御が装備されています。回転速度200rpmまで駆動される12ポケット回転クロックと、暖房表示窓を備えたサイドドア冷却機で構成されています。パワーコントロールとスピードコントロールは、パネルデプス高さ制御を備えた1つのツールに統合されています。アセットのアーキテクチャは、水晶とその環境の完全に均一な加熱を提供する標準的なベルジャーデザインに基づいています。基板ホルダーはモデルの熱に配置され、結晶成長率とその均一性を最適化するために可変角度ドライバで設計されています。この装置の特徴は、チャンバー内の基板を傾けて均一性を高めることです。オン/オフおよび冷却プロセスを制御するためにシステムに統合される電子部品があります。単位は温度制御されたステンレス鋼のハウジングの内で囲まれます。これにより、PVDプロセスに最適な条件が保証され、均一なチャンバーの加熱も支援されます。さらに、この機械には、蒸着プロセスの完全な制御とトレーサビリティを提供するモニターおよび制御ツールが装備されています。このモニターは、調整可能なステップスキャンアセットと必要なコントローラ、バルブ、センサーを備えています。単位は異なったプロセス温度および圧力に調節することができ正確な率の制御を可能にします。さらに、機器の定期点検を可能にするメンテナンスと操作手順が簡素化されています。これには、メインチャンバーのクリーニング、表示およびメンテナンス用のドアの開閉、部品の交換などが含まれます。統合された安全インターロックは、オペレータに運転中に可能な限り最高の安全性を提供します。PS7-MGT40-H-2蒸着システムは、物理蒸着プロセスのための効率的で正確で使いやすいツールです。また、優れた均一性と高品質の性能を提供し、運転およびメンテナンス中に優れた安全対策を提供します。