中古 KLA / TENCOR IB840F #9293038 を販売中

KLA/TENCOR IB840Fは、CMPプロセス後に生成される繊細なウェーハ表面を検査するために設計された設備装置です。この装置は、デジタルイメージ取得、ステージのオートフォーカス校正、照明レビュー、画像解析で構成される構造レビュー用の4つの独立した相互接続モジュールで構成されています。Digital Image Acquisition （DIA）モジュールは、ピクセルレベルでサンプルの非線形光学特性を測定します。DIAモジュールは、2つの独立したスループットベースのアレイカメラを採用しています。Stage Autofocus Calibration （SAFC）モジュールは、検査対象のウェーハを正確に配置します。SAFCモジュールには、2次元の線形ステージと5段階の微調整メカニズムが装備されています。IRモジュールは、サンプルの微細な特徴を正確に検査します。IRモジュールは、さまざまな材料や構造に対応できる幅広い照明パターンを利用しています。最後に、Image Analysis （IA）モジュールは強力な画像解析および特性評価ツールを提供します。IAモジュールは、ユーザーが構造のいくつかのパラメータを測定することができるコンピュータ支援ツールを使用しています。このモジュールは、重要な欠陥を検出するための自動意思決定アルゴリズムも採用しています。KLA IB840Fは、正確で信頼性の高い結果を得るために、アダプティブオプティクス、可変ネイティブピクセルレート、デジタイザ帯域幅制御など、最新のテクノロジーと機能を統合しています。このシステムは、高度な光学系と高出力の照明源を使用して、サブミクロンレベルまでの微妙な特徴を検出します。カメラシステムは最大256フレーム/秒で動作し、高解像度の画像を生成および取得します。それとは別に、ユニットには複数の色から画像を取得するのに役立つカラーフィルターホイールが含まれています。さらに、機械の高度なデータ解析アルゴリズムにより、詳細な物理ベースの情報を抽出して欠陥を正確に識別することができます。さらに、その直感的なユーザーインターフェイスは、研究者が画像を簡単に比較するのに役立つデータのグラフィカルな表現を提供します。結論として、TENCOR IB840Fはユーザーフレンドリーで信頼性の高い設備機器であり、CMPプロセス後に製造された繊細なウエハの構造と表面の検査に使用されます。このツールには、アダプティブオプティクス、可変ネイティブピクセルレート、デジタイザ帯域幅コントロール、カラーフィルタなど、さまざまな機能が装備されています。さらに、重要な欠陥を検出するのに役立つ高度なデータ分析アルゴリズムと統合されています。