中古 KARL SUSS / MICROTEC 1000 #293655251 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC 1000は最先端の多機能設備です。これは、金属からポリマーまで、さまざまな材料の精密で再現性のあるウェーハ処理、および2インチから8インチまでの幅広いウェーハサイズのために設計されています。それは異なった沈殿およびエッチングプロセスの完全な制御を可能にします。MICROTEC 1000は、ウェーハ上で幅広いプロセスを実行できる、高度に自動化されたコンピュータ制御マシンです。熱蒸発、スパッタリング、電子ビーム蒸着、プラズマ蒸着など、さまざまな蒸着プロセスを備えています。また、RIE、 ICP、レーザーアブレーションなど、さまざまなエッチングプロセスを実行できます。さらに、ウェーハ平面化やその他の表面仕上げ加工にも使用できます。このマシンは、すべてのプロセスにウェーハを正確に配置するために使用できる精密6軸ウェーハアームを備えています。また、ウェーハローダーとアンローダーが含まれており、ウェーハの自動処理が可能です。機械の他の特徴は、自動化されたプロセス制御システム、蒸着およびエッチング工程を制御および監視するためのコントロールパネル、真空システムを備えたプロセスチャンバー、および現場のチャンバーモニタリングシステムです。この機械は非常に汎用性が高く、さまざまな研究および生産アプリケーションに使用できます。その精度と再現性により、ラボスケールの実験および生産プロセスでの使用に最適です。半導体製造やグラフェンなどの特殊材料の調製にも使用できます。全体として、KARL SUS1000は汎用性が高く、多くの研究および生産アプリケーションに使用できる先進的な設備機器です。その精度と再現性は、ラボスケールの実験と生産プロセスの両方での使用に最適です。さらに、さまざまな成膜およびエッチング処理を正確に制御できるため、あらゆる実験室や生産環境にとって貴重な機器となります。
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