中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 500A #9230836 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 500Aは、機能性に優れた多機能ファシリティ機器です。半導体、ディスプレイ、ナノデバイスなど、さまざまなデバイスやデバイスの製造のための強力な基盤を提供します。リソグラフィープロセスヘッド、基板ハンドラ、蒸着装置、ガス供給システムなど4つのコア部品を取り揃えています。リソグラフィプロセスヘッドは、ステージや光学系の移動を可能にする精密モーションユニットで、ユーザーは正確なフィーチャー寸法のデバイスを製造することができます。このマシンは、各線形軸上のレールとスペースクランプで構成されており、非常に低いモーションノイズで動きを可能にします。この構造は、プロセス中の位置誤差とドリフトを最小限に抑えるのに役立ちます。基板ハンドラは、クリーンな基板環境と温度の均一性を提供することにより、粒子汚染を低減し、信頼性の高い薄膜蒸着を可能にするように設計されています。このコンポーネントは、複数の基板キャリアをサポートし、小型基板から最大200mmの大型基板まで、幅広いデバイスのサイズをカバーします。成膜ツールは、材料の薄い層を正確な寸法制御で基板に堆積させるために使用されます。合金および複合材料の成膜に必要な温度および圧力設定をサポートします。このアセットの大容量により、揮発性ガスを含む複数のガス源を同時に導入することができ、複数の基板上に独立した材料を堆積させることができます。最後に、ガス供給モデルは、製造プロセス中の化学ガスの安全で信頼性の高い供給を提供する蒸着装置との完全な互換性を提供します。貯蔵容器、ガスミキサー、ニードルバルブブロック、マスフローコントローラを備えており、すべてが協力して、蒸着システムに信頼性の高い安定した高速ガス供給を提供します。要するに、FSI 500Aは、正確なプロセス、最適なパフォーマンス、高い安全性と効率を実現するために最適化された構造とコンポーネントを備えています。上記の4つのコアコンポーネントは、製造プロセスへの統合とともに、製造プロセスの重要な部分となります。