中古 EDWARDS Atlas MK3B #293670650 を販売中

EDWARDS Atlas MK3Bは、シリコンウェーハなどの基板に材料を真空蒸着するために設計された設備装置です。電子ビーム蒸発と直流スパッタリングプロセスを利用しています。電子ビームプロセスは、基板上の望ましい材料の均一なコーティングを生成するために、前駆材料の正確な配信を可能にします。スパッタリングプロセスは、蒸着プロセス中に均一な層の厚さを維持しながら、基板上に厚い金属膜を堆積するために使用されます。EDWARDS ATLAS MK 3 Bは、高熱と機械的安定性を提供するように設計された統合真空加工チャンバーを備えています。電子ビームガンの滑らかで正確な動きを保証するために、リニアベアリングを備えています。さらに、チャンバーの迅速な避難のために設計された高性能の機械式ポンプを備えています。チャンバーには、温度やその他のプロセスパラメータを監視するためのさまざまなセンサーが装備されているだけでなく、外部ノイズや干渉の量を減らすために統合された絶縁システムがあります。Atlas MK3Bには、堆積プロセスの完全な制御と監視を可能にする強力なソフトウェアパッケージも装備されています。このソフトウェアは、堆積率、厚さ、温度、およびその他のプロセスパラメータなどの堆積パラメータを簡単に操作できるグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、このソフトウェアは、堆積した厚さのリアルタイムのデータロギングを提供し、堆積プロセスを正確に監視することができます。さらに、ATLAS MK 3 Bは、さまざまな基板と互換性があるように設計されています。直径200mmまでのウェーハ基板に対応可能で、あらかじめ定義された厚さやカバレッジを達成したときに蒸着プロセスを停止することができる調整可能なエンドポイントとシャッタースイッチを備えています。また、基板のペデスタルサポートを内蔵して設計されており、大型基板の信頼性の高い取り扱いが可能です。EDWARDS Atlas MK3Bは、材料の成長、不動態化、およびデバイスのシーリングのための真空蒸着プロセスのための優れた機器です。パワフルなスパッタリングと電子ビーム蒸発プロセス、高度な統合機能、リアルタイムデータロギング機能により、材料を基板に正確かつ正確に堆積させることができます。