中古 BOC EDWARDS TPU-STD #293592790 を販売中

BOC EDWARDS TPU-STDは、高精度の薄膜成膜用に設計された真空装置です。この非常に小さなシステムは所有コストが低く、極めて精度の高いプロセスには高い信頼性と費用対効果が必要です。正確な膜厚が極めて重要な半導体加工などの工業用スケール成膜プロセスに適しています。TPU-STDには、2 x 10^-8 Torrの基圧を持つ、オールメタルシールされた超高真空（UHV）チャンバーが含まれています。ステンレス製のゲートバルブを備えており、外部環境からチャンバーをシールすることで低圧を維持し、望ましくないガスや粒子の侵入を防ぎます。BOC EDWARDS TPU-STDには、毎分120リットルのポンピング速度を持つ自動ターボポンプも搭載されており、チャンバー内の非常に低い圧力と短い避難時間を実現できます。TPU-STDは、薄膜および/またはコーティングの自動蒸着をサポートします。複数の自動化されたマスフローコントローラを備えており、チャンバー内で混合する際に各材料を正確に制御することができます。さらに、スパッタ蒸着時に正確な薄膜を作成するために使用することができ、シールド付きマグネトロンスパッタターゲットを備えています。BOC EDWARDS TPU-STDのオープンエンドチャンバー設計により、ユーザーはサンプルを内部に配置し、チャンバーを開けずに引き込むことができます。TPU-STDにはデジタルディスプレイもあり、蒸着プロセス全体のすべてのポンプパラメータのステータスの概要をユーザーに提供します。さらに、蒸着プロセス中に望ましくない圧力変化を検出するための自動バックグラウンド圧力モニタも含まれています。また、ユニット圧力がユーザー定義のしきい値を超えた場合にも自動シャットオフが可能です。全体として、BOC EDWARDS TPU-STDは、高精度の薄膜成膜に使用するための信頼性の高い、手頃な価格の真空機です。小型で所有コストが低く、精度の高い成膜により、精度の高い業界で使用することができます。