中古 BOC EDWARDS Helios-J #293667008 を販売中

BOC EDWARDS Helios-Jは、高精度、高スループットウェーハ処理用に設計された高速サーマルプロセッサです。この装置は、2インチから8インチまでのさまざまなウェーハサイズに対応したシングルウェーハ加工ツールです。モジュラー設計を採用し、生産の柔軟性を実現しています。このシステムは、正確で効率的な熱処理のために、急速な冷却と加熱時間を備えています。高度な熱制御により、ユーザーは所望の設定点の+/-5°Cの温度を達成することができます。ウェーハ全体の均一な温度は均一な排気ユニットを使用して保証され、安定した一貫した処理条件が保証されます。Helios-Jマシンには、水晶マイクロバランス、不活性ガス供給ツール、紫外線/オゾンステーションなど、さまざまな先進的なアクセサリーを取り付けることができます。これらのアクセサリーは、さまざまな特殊なアプリケーションのためのよりカスタマイズされた処理を可能にします。この資産には、ウェーハを汚染から保護するのに役立つハイテクなプラテンシールドもあります。BOC EDWARDS Helios-Jは、直感的なユーザーインターフェイスと自動化された機能を備えた使いやすさのために設計されています。これにより、大量、高精度の生産に最適です。また、外気からの汚れを防ぐ自動エアロックなど、高度な安全機能を備えています。このモデルは、簡単なメンテナンスを可能にするように設計されています。全体として、BOC EDWARD Helios-Jは汎用性の高い高精度のサーマルプロセッサであり、複雑な処理アプリケーションに適しています。それに拡張性およびカスタム化の両方を可能にするモジュラー設計があります；正確な熱処理のための急速な冷却および暖房時間；専門にされた適用のための付属品の範囲；直感的なユーザーインターフェイス；そして汚染防止のための高度の安全特徴。高容量、高精度の熱処理に最適です。