中古 ATMI 3CHEM #9395590 を販売中

ATMI 3CHEMは、薄膜プロセスと材料の開発と最適化のための高度なプラットフォームを提供するために設計された設備機器です。装置の主な構成要素は、堆積チャンバー、プロセス制御装置、および層の特性評価システムです。蒸着チャンバーは、加熱基板ホルダーと複数のガスのための結合化学注入ユニットを備えたクローズドループ型エアリフトリアクターです。このチャンバーは、高度な薄膜成膜プロセスと材料に理想的な環境を提供し、圧力、温度、ガス組成、ガス流量などのプロセスパラメータを正確に制御することができます。プロセス制御機械は沈殿させた薄膜の最適なプロセス条件そして均等性を保障するように設計されています、沈殿プロセスの手動そして自動制御を提供します。層の特性評価ツールは、堆積プロセスと薄膜の化学的、物理的、および電気的特性の特性評価を可能にします。反射測定、厚さ、屈折率、応力とひずみ、形態、フィルム接着と安定性、電気伝導性、界面エネルギーと安定性、作業機能、光定数、および複数のウエハ間の均質性を測定する機能を備えています。最後に、3CHEM装置は高度な分析ツールを提供しており、研究者はデータの視覚的表現を迅速に生成するだけでなく、沈着プロセスや薄膜に対する実用的な洞察を分析、解釈、生成することができます。ATMI 3CHEMのその他の機能には、データ分析とプロセス最適化のための自動アルゴリズム、スケーラビリティと使いやすさのためのオープンアセットアーキテクチャ、薄膜プロセスと材料の包括的なライブラリなどがあります。全体的3CHEMは、薄膜プロセスおよび材料の開発と最適化のための研究室や生産設備に幅広いツールと能力を提供するために設計された総合的な設備機器です。