中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Avatar #9311356 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSアバターは、あらゆるタイプの半導体製造のスループットと収益性を向上させるために設計された自動マテリアルハンドリング装置のスイートです。クローズドループのフィードバックと自動化された制御システムを好むAMAT Avatarは、クリーンルーム環境内での材料のスループット時間を大幅に向上させます。ウェーハボンディング、エッチング、クリーニング、検査、計測のプロセスに対応します。APPLIED MATERIALSアバターの革新的なクローズドループ設計は、MEMSなどの化学センサーを使用して、サイクル全体にフィードバックを提供します。ダイナミックフィードバックシステムにより、速度、圧力、温度、湿度などのパラメータを調整してパフォーマンスを最適化できます。アバターには、材料アタッチメントを最適化する自動ウェーハボンディングが装備されています。フォトニクス接着と静電結合を用いて、毎秒1000ボンドで接着することができます。ウェハボンディングプロセスは、非常に迅速なスループットを提供し、高収率の生産作業に最適です。エッチングプロセスは、通常、さまざまなウェットエッチングおよびドライエッチング方法を採用した高度なケミカルエッチングツールで行われます。AMAT/APPLIED MATERIALS Avatarを使用して、自動ウェーハアライメント、精密研磨スラリー制御、定温給水によりエッチング処理を加速します。バルクエッチングプロセスは、連続測定とプロセス制御を使用しても改善されます。AMATアバターのクリーニングプロセスは、機械スクラブや化学除去などのさまざまな技術を使用して行われます。自動化されたウェーハラックマニピュレータは、洗浄プロセスを動作させ、汚染を最小限に抑えて効率的で一貫した洗浄を提供します。洗浄プロセスは高精度で、繰り返し可能な洗浄結果を生成します。洗練された光学検査システムを用いて検査を行います。自動化されたウェーハ認識とフォーカス検出により、誤検知が低減され、正確な結果が得られます。高速、高リゾリューションのセンサーは欠陥を検出し、プロセス制御および製品品質を維持するために重要な変数を測定します。最後に、APPLIED MATERIALS Avatarの計測ツールは、プロセス変数の正確な分析と制御を提供します。高速で高精度な測定により、蒸着速度、エッチング速度、線幅などのパラメータを正確に測定できます。これにより、プロセス全体が継続的に管理および監視され、最適なパフォーマンスが得られます。全体として、アバターは半導体製造技術において飛躍的な飛躍を遂げました。その高度な自動フィードバックシステムと高速スループット機能により、クリーンルーム環境は他の同様のプロセスよりも優れています。高度なエッチングと洗浄、正確な検査、精密な計測機能を組み合わせることで、プロセス制御と最適化のためのユニークなツールを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Avatarを使用すると、半導体製造装置のプロセスが最適なレベルで動作していることを安心できます。