中古 USHIO Unihard #9251839 を販売中

ウシオユニハードは、半導体加工に使用される露出装置です。IC生産ラインにおける一貫した反復可能なウェーハ露出を確保するために、自動露出システムを備えています。このユニットは、4インチから12インチのウェーハまでの幅広いサイズを、1時間あたり24ウェーハまでの速度で処理するように設計されています。高精度のX-Yステージを搭載し、幅広いウエハサイズで均一な露出を実現しています。Unihardはまた、統合されたレンズ、照明ツール、および投影光学を含む高度な光学機械を備えています。光学と照明のこの組み合わせは、ウェーハ全体に均一な均一性とシャープな解像度で所望の線量分布を保証します。絞りは最大300mmまで可能で、非常に広い範囲をカバーします。照明アセットには、ウェーハ全体に明るく均一な露出を可能にする高度なビームシェーピング技術が組み込まれています。また、フォーカシングシステム、温度制御、露出制御など、さまざまな高度な制御システムを備えています。フォーカス装置は、正確なフォーカスと再現性を確保するためにX-Yステージを調整します。温度制御によりウェーハ全体に均一な露出が保証され、露出制御システムは一貫した露出時間と線量を保証します。このユニットには、シャッター用のセルフロックツールを備えたウェハハンドリングマシン、緊急シャットダウン機能を備えた安全インターロックアセットなど、多くの安全機能も含まれています。さらに、ウェーハは手動で介入することなく、露出ステージに安全に配置して取り外すことができます。USHIO Unihardは、画像処理、パターン認識、データ解析など、さまざまなソフトウェアベースの自動化ツールも提供しています。これらのツールを使用すると、露出最適化、レシピ開発、不均一補正、露出検証などの複雑な操作を実行できます。要するに、UnihardはIC生産ラインにおける一貫した再現性のあるウェーハ露出を確保するために設計された、高精度で高度に自動化されたウェーハ露出モデルです。この装置は、さまざまな先進的な光学系、制御システム、オートメーションツールを備えており、最も要求の厳しい半導体プロセスに最適なソリューションです。